[发明专利]MEMS加速度计及其提高抗冲击能力的方法有效
| 申请号： | 202010368578.8 | 申请日： | 2020-05-01 |
| 公开（公告）号： | CN111381073B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 邹波;郭梅寒 | 申请（专利权）人： | 深迪半导体（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 上海剑秋知识产权代理有限公司 31382 | 代理人： | 杨飞 |
| 地址： | 312030 浙江省绍兴市柯桥区柯桥*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 加速度计 及其 提高 冲击 能力 方法 | ||
1.一种MEMS加速度计，其特征在于，包括阻尼梳齿和限位结构，所述阻尼梳齿包括可动梳齿和固定梳齿，在所述可动梳齿和所述固定梳齿上加载电信号以产生适于两者相吸的静电力，所述可动梳齿适于在所述静电力作用下产生形变，以使所述可动梳齿较形变前更靠近所述固定梳齿；所述可动梳齿包括第一部分、第二部分和第三部分，所述第二部分分别连接所述第一部分和所述第三部分，所述第一部分相对于所述第三部分更接近所述固定梳齿，所述第三部分用于与所述限位结构相配合，以避免所述可动梳齿与所述固定梳齿相接触。
2.如权利要求1所述的MEMS加速度计，其特征在于，所述限位结构加载与所述可动梳齿相同的电信号。
3.如权利要求1所述的MEMS加速度计，其特征在于，所述固定梳齿加载直流电压。
4.如权利要求3所述的MEMS加速度计，其特征在于，所述MEMS加速度计与陀螺仪同时被装置应用时，所述固定梳齿加载的直流电压与所述陀螺仪共用。
5.如权利要求4所述的MEMS加速度计，其特征在于，所述MEMS加速度计和所述陀螺仪被设置在同一封装内。
6.如权利要求5所述的MEMS加速度计，其特征在于，所述陀螺仪的直流电压引脚连接至所述固定梳齿的电信号输入端。
7.如权利要求1所述的MEMS加速度计，其特征在于，同一条所述固定梳齿对应两条所述可动梳齿，分别用于提供互为相反方向的阻尼力。
8.一种提高MEMS加速度计抗冲击能力的方法，其特征在于，在阻尼梳齿的可动梳齿和固定梳齿上加载电信号以产生适于两者相吸的静电力，所述可动梳齿适于在所述静电力作用下产生形变，以使所述可动梳齿较形变前更靠近所述固定梳齿；设置限位结构；所述可动梳齿包括第一部分、第二部分和第三部分，所述第二部分分别连接所述第一部分和所述第三部分，所述第一部分相对于所述第三部分更接近所述固定梳齿，所述第三部分用于与所述限位结构相配合，以避免所述可动梳齿与所述固定梳齿相接触。
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