[发明专利]一种声表面波谐振结构滤波器在审
| 申请号： | 202010370362.5 | 申请日： | 2020-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN111510106A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 姜建利;李勇;陈培杕;黄亮;夏前亮;朱卫俊;施旭霞;彭晓雨 | 申请（专利权）人： | 中电科技德清华莹电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64;H03H9/25;H03H9/02 |
| 代理公司： | 杭州赛科专利代理事务所(普通合伙) 33230 | 代理人： | 郭薇 |
| 地址： | 313000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 谐振 结构 滤波器 | ||
1.一种声表面波谐振结构滤波器，其特征在于：包括压电晶片、压电晶片表面制作的多个谐振器单元和电连接金属电极结构，谐振器单元由周期金属电极和汇流导电金属电极构成，至少有一个谐振器单元为弯曲声道谐振器单元，该弯曲声道谐振器单元的有效声传输通道的中心轨迹相切，偏离声波传播方向的角度沿轨迹方向变换，且声波传播方向也可能与其他谐振器单元不一致。
2.根据权利要求1所述的一种声表面波谐振结构滤波器，其特征在于：所述的弯曲声道谐振器单元的有效声传输通道由周期金属电极加权结构形成，所述的弯曲声道谐振器单元通过周期金属电极加权结构形成的有效声传输通道配用金属电极几何的声道修饰技术。
3.根据权利要求1所述的一种声表面波谐振结构滤波器，其特征在于：还包括压电性基板、以及设置在压电性基板上的叉指换能器，叉指换能器的电极设置于压电性基板上，所述的压电性基板由压电膜层、低声速膜层、高声速层和支撑基板组成。
4.根据权利要求3所述的一种声表面波谐振结构滤波器，其特征在于：所述的高声速层与支撑基板合二为一形成高声速支撑组件，所述低声速膜层层叠于高声速支撑组件的上表面。
5.根据权利要求4所述的一种声表面波谐振结构滤波器，其特征在于：所述高声速支撑组件中传播的声波波速高于压电膜层中传播的声波波速，所述低声速膜层中传播的声波波速低于压电膜层中传播的声波波速。
6.根据权利要求3-5中任一项所述的一种声表面波谐振结构滤波器，其特征在于：所述压电膜层为旋转Y切X传播的钽酸锂晶体材料，其切割角度为30°～60°范围内；
所述的压电膜层也可以为旋转Y切X传播的铌酸锂晶体材料，其切割角为83°～145°范围内。
7.根据权利要求1所述的一种声表面波谐振结构滤波器，其特征在于：所述的弯曲声道谐振器单元的有效声传输通道由压电晶片表面镶崁微金属体或镶崁微介质体构成，且可配合周期金属电极加权结构形和/或金属电极几何的声道修饰技术。
8.根据权利要求1-2中任一项所述的一种声表面波谐振结构滤波器，其特征在于：所述的弯曲声道谐振器单元的有效声波传输通道制作在压电晶片表面电畴反转区域。
9.根据权利要求1-2中任一项所述的一种声表面波谐振结构滤波器，其特征在于：所述的弯曲声道谐振器单元的有效声波传输通道制作在压电晶片表面金属扩散掺杂层区域。
10.根据权利要求1-2中任一项所述的一种声表面波谐振结构滤波器，其特征在于：所述的弯曲声道谐振器单元的弯曲声波通道的谐振器单元上方叠加制作一层准周期性条阵介质膜结构。
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