[发明专利]一种直拉单晶复投装置及其复投方法

权利要求书

1.一种直拉单晶复投装置，包括筒本体、石英伞以及钼杆，其特征在于，还包括用于支撑所述筒本体的支撑组件、用于检测所述复投装置整体重量的监控组件以及用于固定所述石英伞的固定组件，所述支撑组件被置于所述筒本体外侧且沿所述筒本体长度方向设置；所述监控组件被置于所述支撑组件下端面；所述固定组件被配置于所述复投筒两端且通过所述钼杆与所述支撑组件连接。

2.根据权利要求1所述的一种直拉单晶复投装置，其特征在于，所述支撑组件包括对位设置的上支板和下支板、以及置于所述上支板和所述下支板之间的若干支柱，所述上支板与所述下支板内壁与所述筒本体外壁相适配；所述上支板与所述筒本体上端面平齐设置。

3.根据权利要求2所述的一种直拉单晶复投装置，其特征在于，所述支柱沿所述筒本体周缘对称设置，所述支柱高度大于所述筒本体高度的一半且小于所述筒本体高度的2/3。

4.根据权利要求2或3所述的一种直拉单晶复投装置，其特征在于，所述监控组件包括安装板和监控件，所述安装板置于所述下支板下方，且所述安装板下端面设有若干开口朝下设置的凹槽，所述监控件被固定设置在所述凹槽内。

5.根据权利要求4所述的一种直拉单晶复投装置，其特征在于，所述凹槽数量为两个，对称设置在所述安装板直径上；所述上支板、所述下支板和所述安装板等径设置。

6.根据权利要求2-3、5任一项所述的一种直拉单晶复投装置，其特征在于，所述固定组件包括上固定盘和下固定盘，所述上固定盘置于所述上支板上端面上且被所述钼杆贯穿设置；所述下固定盘置于所述石英伞下端面且所述石英伞被配置于所述下固定盘内侧。

7.根据权利要求6所述的一种直拉单晶复投装置，其特征在于，在所述下固定盘外圆并沿所述筒本体高度方向设有圆弧型凸缘，所述凸缘朝所述支撑组件一侧设置；所述凸缘内径大于所述筒本体外径，所述凸缘高度为10-50mm。

8.一种直拉单晶用复投方法，其特征在于，采用如权利要求1-7任一项所述的复投装置，执行将载有硅料的所述复投装置于单晶炉内固定，并使所述监控组件下端面与所述单晶炉炉盖勃腔上端面接触。

9.根据权利要求8所述的一种直拉单晶用复投方法，其特征在于，所述监控件实时监控所述复投装置内硅料的重量，并使所述复投装置多次定量投放硅料，每次投放硅料后暂停1-2min。

10.根据权利要求9所述的一种直拉单晶用复投方法，其特征在于，每次投放硅料重量为10-15kg。