[发明专利]一种多晶硅破碎装置及破碎方法

权利要求书

1.一种多晶硅破碎装置，其特征在于，包括：

液态二氧化碳高压腔体(1)，用于储存液态二氧化碳，并将腔体内液态二氧化碳转化为高压气体二氧化碳；

多晶硅破碎室(2)，用于储存破碎前的棒状多晶硅和破碎后的多晶硅碎片；

气体脉冲破碎器(3)，其一端与液态二氧化碳高压腔体(1)连通，另一端密封并安装于多晶硅破碎室(2)内，将液态二氧化碳高压腔体(1)内产生的高压气体二氧化碳以脉冲方式释放于多晶硅破碎室(2)内，将棒状多晶硅致裂成多晶硅碎片。

2.根据权利要求1所述的多晶硅破碎装置，其特征在于，所述液态二氧化碳高压腔体(1)上设有液态二氧化碳充装口(11)和发热管(12)；所述液态二氧化碳充装口(11)用于将外部液态二氧化碳充填进入液态二氧化碳高压腔体(1)内，其为针型阀；所述发热管(12)用于对液态二氧化碳高压腔体(1)进行加热，使得腔内液态二氧化碳快速转化为高压气体二氧化碳。

3.根据权利要求1所述的多晶硅破碎装置，其特征在于，所述多晶硅破碎室(2)包括一端用于安装液态二氧化碳高压腔体(1)的法兰(21)，以及另一端用于多晶硅装料和卸料的拆装封头(22)；

所述液态二氧化碳高压腔体(1)的一端位于多晶硅破碎室(2)内，装入多晶硅破碎室(2)内后用法兰(21)固定；

所述拆装封头(22)的外圈与多晶硅破碎室(2)的外圈通过螺栓(23)可拆卸的连接固定。

4.根据权利要求1所述的多晶硅破碎装置，其特征在于，所述气体脉冲破碎器(3)包括脉冲气体通管(31)、高压泄放阀(32)以及通管连接阀(33)；

所述脉冲气体通管(31)由数根通管连接而成，脉冲气体通管(31)的一端通过高压泄放阀(32)与液态二氧化碳高压腔体(1)端部连通，另一端密封；相邻的两根通管之间通过通管连接阀(33)连接；通管连接阀(33)上设有与通管连通的脉冲气体通道(34)，高压气体二氧化碳通过脉冲气体通道(34)释放到多晶硅破碎室(2)内。

5.根据权利要求4所述的多晶硅破碎装置，其特征在于，所述通管连接阀(33)的两端分别设有螺纹槽(35)，中部留有与通管连通的通槽(36)，所述脉冲气体通道(34)垂直于通槽(36)并等角分布。

6.根据权利要求3所述的多晶硅破碎装置，其特征在于，所述拆装封头(22)的内侧中心设有支撑圆环座(24)，气体脉冲破碎器(3)的密封端活动地安装于支撑圆环座(24)内。

7.根据权利要求3所述的多晶硅破碎装置，其特征在于，所述多晶硅破碎室(2)内设有一桶体固定板(25)，所述桶体固定板(25)的外圈与多晶硅破碎室(2)内壁焊接固定，且外围开有一圈以中心为对称点的平衡口(26)；所述液态二氧化碳高压腔体(1)通过螺纹连接方式贯穿桶体固定板(25)。

8.根据权利要求1所述的多晶硅破碎装置，其特征在于，所述多晶硅破碎室(2)上设有多个泄压阀和压力表，分别用于将多晶硅破碎室(2)内的二氧化碳释放以及对内部压力进行监测。