[发明专利]一种实现封装超大TVS芯片面积的3D封装结构及方法在审
申请号: | 202010373969.9 | 申请日: | 2020-05-06 |
公开(公告)号: | CN111446233A | 公开(公告)日: | 2020-07-24 |
发明(设计)人: | 王允;赵德益;杜牧涵;赵志方;蒋骞苑;苏亚兵 | 申请(专利权)人: | 上海维安半导体有限公司 |
主分类号: | H01L25/07 | 分类号: | H01L25/07;H01L23/485;H01L21/60 |
代理公司: | 上海东亚专利商标代理有限公司 31208 | 代理人: | 董梅 |
地址: | 201202 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 实现 封装 超大 tvs 芯片 面积 结构 方法 | ||
1.一种实现封装超大TVS芯片面积的3D封装结构,其特征在于:至少二个以上的TVS芯片采用RDL布线和导电柱叠片封装,形成各TVS芯片间并联,其中,
TVS芯片一通过共晶方式与载体框架一粘接在一起,TVS芯片一作为最底层芯片,TVS芯片一正面电极通过RDL布线一和一层导电柱一与框架二形成导电连接,同时,通过RDL布线一和与载体框架一连通的一层导电柱二连接,为下一层TVS芯片叠片封装的电路连接做准备;
TVS芯片二背面电极通过二层导电胶与RDL布线一粘接,经RDL布线一和一层导电柱一引到框架二上形成导电连接;TVS芯片二正面电极通过RDL布线二和二层导电柱一、RDL布线一和一层导电柱二导电连接,将TVS芯片二的正面电极引到载体框架一上形成另一个导电通道,达到TVS芯片一和TVS芯片二并联。
2.根据权利要求1所述的一种实现封装超大TVS芯片面积的3D封装结构,其特征在于:当叠加的TVS芯片数为三个以时,叠加的第奇数个TVS芯片的衬底类型与最底层TVS芯片一的衬底类型相同,且背面电极经过RDL布线和导电柱与载体框架61导电连接,并不与框架二导通;第奇数个TVS芯片的正面电极通过另一RDL布线和同层导电柱与框架二62导电连接。
3.根据权利要求1或2所述的一种实现封装超大TVS芯片面积的3D封装结构,其特征在于:当二片TVS芯片叠片封装时,厚度不大于0.55mm;当三片TVS芯片叠片封装时,厚度不大于0.75mm;当四片TVS芯片叠片封装时,厚度不大于1mm。
4.根据权利要求1或2所述的一种实现封装超大TVS芯片面积的3D封装结构,其特征在于:各层导电柱为芯片的通孔内镀铜形成的镀铜通孔。
5.根据权利要求1或2所述的一种实现封装超大TVS芯片面积的3D封装结构,其特征在于:当叠加的TVS芯片数为三个以时,叠加的第偶数个TVS芯片的背面电极经过连接底面相邻的第奇数个TVS芯片正面电极的RDL布线和该第奇数层导电柱与框架二导电连接,并不与载体框架61导电连接;同时,第偶数个TVS芯片的正面电极通过另一RDL布线和同层的导电柱与载体框架导电连接。
6.根据权利要求1或2所述的一种实现封装超大TVS芯片面积的3D封装结构,其特征在于:当三个TVS芯片叠片封装时,在TVS芯片一和TVS芯片二并联基础上,再叠片并联TVS芯片三,TVS芯片三的衬底类型与TVS芯片一的衬底类型相同,将TVS芯片三背面电极通过三层导电胶与RDL布线二粘接,使TVS芯片三的背面电极通过三层导电胶、RDL布线二、第二层导电柱一、RDL布线一、一层导电柱二引到载体框架上,形成导电连接;在TVS芯片三正面电极上植球,再通过RDL布线三和三层导电通柱一与之前形成的RDL布线一、二、二层导电柱二和一层导电柱一与框架二导电连接,使TVS芯片一、二、三并联。
7.根据权利要求6所述的一种实现封装超大TVS芯片面积的3D封装结构,其特征在于:当四个TVS芯片叠片封装时,TVS芯片四背面电极通过四层导电胶粘接在RDL布线三上表面,TVS芯片四背面电极通过RDL布线三、第三层导电柱一、与之前形成的RDL布线一、二、二层导电柱二和一层导电柱一与框架二导电连接,将TVS芯片四背面电极引到框架二上;在TVS芯片四正面电极上植球,再通过RDL布线四、四层导电柱一、RDL布线一、二、三、三层导电柱二、二层导电柱一和一层导电柱二与载体框架一导电连接。
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