[发明专利]一种绝对压力变送器的校准装置及校准方法

权利要求书

1.一种绝对压力变送器的校准装置，其特征在于，所述校准装置包括：

真空室，所述真空室为所述校准装置的校准容器；

标准器，通过标准器连接管道与所述真空室连通；

真空泵，通过抽气管道与所述真空室连通；

气瓶，通过充气管道与所述真空室连通；

转换接头，通过校准管道与所述真空室连通，用于连接所述真空室与待校准的绝对压力变送器；

微调阀，设于所述充气管道上，用于调节所述气瓶中的气体充入所述真空室的流速；

第一真空阀，设于所述抽气管道上，用于控制所述抽气管道的通断；

其中，所述标准器包括真空计以及与所述真空计电连接的真空计控制器；或者所述标准器为数显真空计。

2.如权利要求1所述的绝对压力变送器的校准装置，其特征在于，当所述标准器包括真空计以及与所述真空计电连接的真空计控制器时，所述真空计控制器为真空显示控制单元，用于显示真空计的测量数值。

3.如权利要求1所述的绝对压力变送器的校准装置，其特征在于，所述真空室的容积＞待校准绝对压力变送器+全部连接管道的总容积，所述全部连接管道包括标准器连接管道、抽气管道、充气管道以及校准管道。

4.如权利要求1所述的绝对压力变送器的校准装置，其特征在于，所述真空泵的实际抽速SL的计算公式如下：

SL＝1.2×(Q_出+Q_漏+Q₁)/P_极限；

其中，SL为真空泵的实际抽速；

系数1.2表示留出20％的设计余量；

P_极限为真空室的极限压强；

Q_出为校准装置中的容器壁出气率；

Q_漏为校准装置的漏率；

Q₁为真空室工艺过程放气量。

5.如权利要求4所述的绝对压力变送器的校准装置，其特征在于，所述校准装置中的容器壁出气率Q_出的计算公式如下：

Q_出＝S×ρ_10h；

其中，S为校准装置的内表面积，ρ_10h为校准装置的材料出气率。

6.如权利要求1～5任一所述的绝对压力变送器的校准装置，其特征在于，所述标准器连接管道上设有多个标准器接口，以分别与不同测量范围的真空计连接。

7.如权利要求1～5任一所述的绝对压力变送器的校准装置，其特征在于，在所述微调阀与真空室之间的充气管道上连接有放气管道，所述放气管道上设有放气阀，所述放气阀用于控制所述放气管道的通断。

8.如权利要求1～5任一所述的绝对压力变送器的校准装置，其特征在于，所述校准管道上设有第二真空阀，所述第二真空阀用于控制所述校准管道的通断；

所述标准器连接管道上设有第三真空阀，所述第三真空阀用于控制所述标准器连接管道的通断；

当所述标准器包括真空计以及与所述真空计电连接的真空计控制器时，所述真空计为电容式薄膜真空计；

所述标准器连接管道、抽气管道、充气管道以及校准管道均为采用ISO/KF标准的真空检测管道。