[发明专利]一种多功能微细加工机床

权利要求书

1.一种多功能微细加工机床，其特征在于：包括支撑模块、宏观三维运动平台、微观三维运动平台、超声振动工作台模块和工件夹具模块；所述支撑模块包括底座、平台、旋转台、立柱和两个滑台，所述平台设置在所述底座上，所述旋转台转动设置在所述平台上，立柱旋转电机能够驱动所述旋转台转动，所述立柱固设在所述旋转台上，两个所述滑台分别滑动设置在所述立柱的两侧，所述滑台上安装有电主轴模块或超声振动主轴模块；所述宏观三维运动平台和所述微观三维运动平台分别安装在所述平台上方，所述超声振动工作台模块和所述工件夹具模块分别安装在所述宏观三维运动平台或所述微观三维运动平台上。

2.根据权利要求1所述的多功能微细加工机床，其特征在于：所述宏观三维运动平台包括宏观Z轴升降台、安装在所述宏观Z轴升降台上的宏观Y轴运动平台和安装在所述宏观Y轴运动平台上的宏观X轴运动平台；所述微观三维运动平台包括微观Z轴升降台、安装在所述微观Z轴升降台上的微观Y轴运动平台和安装在所述微观Y轴运动平台上的微观X轴运动平台；还包括安装在所述宏观三维运动平台或所述微观三维运动平台上的纳观三维运动平台，所述纳观三维运动平台为由压电陶瓷驱动的三维运动平台。

3.根据权利要求1所述的多功能微细加工机床，其特征在于：所述平台与所述底座之间设置有四个水平调节仪，通过四个所述水平调节仪能够调节所述平台的水平状态；两个所述滑台分别通过立式导轨与所述立柱滑动配合，还包括两个立式导轨伺服电机；所述滑台与所述立式导轨伺服电机一一对应，所述立式导轨伺服电机能够驱动对应的所述滑台沿所述立式导轨上下滑动。

4.根据权利要求1所述的多功能微细加工机床，其特征在于：所述电主轴模块包括与所述滑台固连的电主轴支撑座和安装在所述电主轴支撑座上的电主轴；所述超声振动主轴模块包括超声振动主轴伺服电机、主轴垫板、主轴座和工具电极，所述主轴座与所述滑台连接，所述超声振动主轴伺服电机通过所述主轴垫板安装在所述主轴座上，所述超声振动主轴伺服电机的输出轴通过联轴器与超声振动主轴连接，所述工具电极与所述超声振动主轴连接。

5.根据权利要求4所述的多功能微细加工机床，其特征在于：还包括安装在所述电主轴模块上的微细电火花/电解加工主轴模块，所述微细电火花/电解加工主轴模块包括顶端与所述电主轴的底端连接的绝缘套筒、与所述电主轴的壳体固连的引电支撑件和与所述绝缘套筒的底端连接的工具电极，所述引电支撑件的底部设置有碳刷，所述绝缘套筒下方的工具电极与所述碳刷接触。

6.根据权利要求1所述的多功能微细加工机床，其特征在于：还包括安装在所述平台上的CCD在线监测模块，所述CCD在线监测模块包括安装在所述平台上的万向支架臂底座、安装在所述万向支架臂底座上的万向旋转CCD相机支架臂和设置在所述万向旋转CCD相机支架臂上的CCD相机。

7.根据权利要求1所述的多功能微细加工机床，其特征在于：还包括安装在所述微观三维运动平台上的恒张力控制线电极电火花磨削加工单元，所述恒张力控制线电极电火花磨削加工单元包括磨削加工底座，所述磨削加工底座上设置有放丝机构、送丝机构和收丝机构；所述放丝机构包括安装在磨削加工底座上的磁粉制动器和与所述磁粉制动器的转轴固连的放线轮，所述磁粉制动器电连接有控制器；所述送丝机构包括恒张力传感机构、陶瓷棒和若干个传送杆机构，所述恒张力传感机构包括设置在所述磨削加工底座上的支撑架和若干个转动设置在所述支撑架上的张力检测导轮，其中一个所述张力检测导轮连接有张力传感器，所述磨削加工底座上还设置有工作液槽，所述工作液槽中平行设置有两根所述陶瓷棒，且两根所述陶瓷棒之间的间距能够调节，所述传送杆机构包括竖直设置在所述磨削加工底座上的支撑杆和与所述支撑杆转动连接的导丝轮；所述收丝机构包括设置在磨削加工底座上的收丝支架、固设在所述收丝支架上的收丝电机、与所述收丝电机的转轴固连的主动轮和转动设置在压块上的从动轮，所述压块一端与所述收丝支架转动连接、另一端通过竖直的压紧螺栓与所述收丝支架连接；所述收丝电机和所述张力传感器分别与恒张力控制系统电连接。