[发明专利]飞秒激光脉冲压缩装置及其方法在审
申请号: | 202010376656.9 | 申请日: | 2020-05-07 |
公开(公告)号: | CN111478156A | 公开(公告)日: | 2020-07-31 |
发明(设计)人: | 赵裕兴;李立卫 | 申请(专利权)人: | 苏州贝林激光有限公司;苏州德龙激光股份有限公司 |
主分类号: | H01S3/00 | 分类号: | H01S3/00 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 王玉国 |
地址: | 215021 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 脉冲 压缩 装置 及其 方法 | ||
1.飞秒激光脉冲压缩装置,其特征在于:包含沿光路依次布置的飞秒放大器(1)、偏振立方体(2)、旋光器(3)、1/2波片(4)、透射式压缩光栅(5),透射式压缩光栅(5)一侧的衍射光路上布置反射镜一(6)和反射镜二(7),反射镜一(6)与反射镜二(7)的反射光路呈垂直,另一侧的衍射光路上布置反射镜三(8);
入射光经过1/2波片(4)后,以光栅闪耀角入射透射式压缩光栅(5),经过光栅衍射后,入射至反射镜一(6)并垂直反射至反射镜二(7),经过反射镜二(7)反射后,再次入射至透射式压缩光栅(5)并衍射至反射镜三(8),反射镜三(8)使光原路返回。
2.根据权利要求1所述的飞秒激光脉冲压缩装置,其特征在于:所述飞秒放大器(1)为脉冲飞秒放大器,输出脉冲宽度为200ps~2ns,输出波长为1020~1070nm,输出光谱宽度3nm~20nm。
3.根据权利要求1所述的飞秒激光脉冲压缩装置,其特征在于:所述偏振立方体(2)的材质为熔石英,中心波长1020~1070nm,偏振消光比大于500:1。
4.根据权利要求1所述的飞秒激光脉冲压缩装置,其特征在于:所述旋光器(3)为TGG晶体旋光器,中心波长1020~1070nm,激光通过旋光器(3)偏振态旋转45°。
5.根据权利要求1所述的飞秒激光脉冲压缩装置,其特征在于:所述透射式压缩光栅(5)的光栅类别为闪耀光栅,刻线密度为1000~2000l/mm。
6.根据权利要求1所述的飞秒激光脉冲压缩装置,其特征在于:所述透射式压缩光栅(5)的光栅中心波长1020~1070nm,光栅长度为50mm~200mm,光栅单次衍射透过率98%。
7.根据权利要求1所述的飞秒激光脉冲压缩装置,其特征在于:反射镜一(6)的反射波长1020nm~1070nm,入射角度45°,反射率99.8%;反射镜二(7)的反射波长1020nm~1070nm,入射角度45°,反射率99.8%;反射镜三(8)的反射波长1020nm~1070nm,入射角度0°,反射率99.8%。
8.利用权利要求1所述的装置实现飞秒激光脉冲压缩方法,其特征在于:飞秒放大器(1)输出的水平方向偏振展宽脉冲经过偏振立方体(2),再经过旋光器(3)偏振态旋转45°,通过1/2波片(4)将光脉冲调整为竖直方向偏振光,光脉冲以最佳衍射角入射透射式压缩光栅(5),光脉冲中的不同波长分量经过光栅产生不同方向的衍射,短波长衍射角度小,短波分量相位超前于长波分量,实现第一次脉冲压缩;第一次压缩后的光脉冲经过反射镜一(6)、反射镜二(7),再次入射透射式压缩光栅(5),光脉冲再次衍射,实现第二次脉冲压缩;光栅衍射出的光脉冲经过反射镜三(8)实现原光路反射,通过衍射透射式压缩光栅(5),实现第三次脉冲压缩,再经过反射镜二(7)、反射镜一(6),通过衍射透射式压缩光栅(5),实现第四次脉冲压缩,实现飞秒量级的脉冲压缩;通过调整衍射透射式压缩光栅(5)与反射镜一(6)及反射镜二(7)之间的距离,可引入不同的负色散,实现不同宽度展宽脉冲的压缩;压缩后的飞秒光脉冲再经过1/2波片(4)及旋光器(3)后,偏振态为垂直方向偏振,再次经过偏振立方体(2)后反射出来,实现压缩后的脉冲输出。
9.根据权利要求8所述的飞秒激光脉冲压缩方法,其特征在于:反射镜一(6)的反射波长1020nm~1070nm,入射角度45°,反射率99.8%;反射镜二(7)的反射波长1020nm~1070nm,入射角度45°,反射率99.8%;反射镜三(8)的反射波长1020nm~1070nm,入射角度0°,反射率99.8%。
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