[发明专利]减压干燥装置和溶剂收集部件的制造方法

说明书

本发明提供一种使基片上的溶液在减压状态下干燥的减压干燥装置，其包括：用于收纳所述基片的容器；设置在所述容器内的用于载置所述基片的载置台；和溶剂收集部件，其以与载置在所述载置台上的所述基片相对的方式设置在所述容器内，用于暂时收集从该基片气化了的所述溶液中的溶剂，所述溶剂收集部件具有多个溶剂收集单元部件，该溶剂收集单元部件具有多个开口且形成为平板状，所述溶剂收集部件通过使所述多个溶剂收集单元部件各自的俯视时的侧端彼此接合而构成。根据本发明，即使是大型的基片也能够使溶剂的干燥状态在面内均匀。

技术领域

本发明涉及减压干燥装置和溶剂收集部件的制造方法。

背景技术

在专利文献1中，公开有使腔室内收纳的基片上的溶液在减压状态下干燥的减压干燥装置。在该减压干燥装置中设置有溶剂收集板。溶剂收集板由网状板构成，以与基片相对的方式设置在腔室内，用于暂时收集从基片气化了的溶液中的溶剂。在专利文献1所公开的减压干燥装置中，通过设置该溶剂收集板，使得干燥时间在基片的面内变得均匀。另外，在专利文献1所公开的减压干燥装置中，构成溶剂收集板的网状板由通过对钢板进行冷轧来制作的金属网构成。此外，上述网状板由一个金属网构成或将多个金属网在水平方向排列而构成。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2018-59597号公报。

发明内容

发明所要解决的技术问题

本发明所涉及的技术提供即使是大型的基片也能够使溶剂的干燥状态在面内均匀的减压干燥装置。

用于解决问题的技术手段

本发明的一个方式是一种使基片上的溶液在减压状态下干燥的减压干燥装置，其包括：用于收纳所述基片的容器；设置在所述容器内的用于载置所述基片的载置台；和溶剂收集部件，其以与载置在所述载置台上的所述基片相对的方式设置在所述容器内，用于暂时收集从该基片气化了的所述溶液中的溶剂，所述溶剂收集部件具有多个溶剂收集单元部件，该溶剂收集单元部件具有多个开口且形成为平板状，所述溶剂收集部件通过使所述多个溶剂收集单元部件各自的俯视时的侧端彼此接合而构成。

发明效果

根据本发明，提供即使是大型的基片也能够使溶剂的干燥状态在面内均匀的减压干燥装置。

附图说明

图1是用于说明现有技术的问题的图。

图2是表示本实施方式的减压干燥装置的概略结构的剖视图。

图3是表示本实施方式的减压干燥装置的概略结构的俯视图。

图4是用于说明溶剂收集部件的安装结构的图，是减压干燥装置内的部分侧视图。

图5是用于说明溶剂收集部件的安装结构的图，是减压干燥装置的溶剂收集部件及其周围的仰视图。

图6是单元部件的俯视时的侧端部的放大平面图。

图7是单元部件的上述侧端部的放大剖视图。

图8是用于说明单元部件的接合方法的另一例的图，是单元部件的上述侧端部的放大剖视图。

图9是说明单元部件的接合方法的另一例的图，是单元部件的上述侧端部的放大平面图。

图10是说明单元部件的接合方法的又一例的图，是单元部件的上述侧端部的放大剖视图。

图11是说明单元部件的接合方法的又一例的图，是单元部件的上述侧端部的放大平面图。

图12是说明单元部件的接合方法的另外又一例的图，是单元部件的上述侧端部的放大剖视图。