[发明专利]一种用于不锈钢的震荡蚀刻方法在审
| 申请号： | 202010378512.7 | 申请日： | 2020-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN111519188A | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 任忠平;尹国钦 | 申请（专利权）人： | 宁波福至新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/00 | 分类号： | C23F1/00;C23F1/08;C23F1/28;C23F1/14 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人： | 魏峯 |
| 地址： | 315800 浙江省宁波市北*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 不锈钢 震荡 蚀刻 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于不锈钢的震荡蚀刻方法，其特征在于：
采用超声震荡装置对不锈钢进行震荡蚀刻；其中，所述超声震荡装置包括蚀刻槽(1)，位于蚀刻槽(1)底部的震板(2)以及位于震板(2)下面的超声发生器(3)；蚀刻槽(1)顶部中间设有空气增压器(4)，顶部一侧设有进液孔(5)，顶部另一侧设有排气孔(6)。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述蚀刻槽(1)中的蚀刻液(7)为氢氟酸、过氧化氢、三氯化铁中的一种或几种。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述超声发生器(3)的超声波频率为30-50兆赫兹。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述空气增压器(4)给予蚀刻液(7)的压力为3-8bar。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述空气增压器(4)的介质为洁净空气。
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