[发明专利]一种定量表征氧化锌电阻片微观晶粒尺寸分布均匀性的方法

权利要求书

1.一种定量表征氧化锌电阻片微观晶粒尺寸分布均匀性的方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)试样准备：将待表征的氧化锌电阻片的表面依次经过物理抛光、清洗烘干、腐蚀、喷金等步骤处理后，作为晶粒尺寸分布均匀性表征的目标试样；

2)获取显微形貌照片：采用扫描电子显微镜观测步骤1)得到的目标试样的表面，设置放大倍数并保证对焦清晰后拍摄目标试样的显微形貌，获得多张显微形貌照片；

3)提取晶粒数据：采用ImageJ软件对步骤2)得到的显微照片进行统计，提取照片中氧化锌晶粒的面积，将晶粒面积近似等效为圆形，记等效圆的直径为晶粒尺寸数据；

4)拟合晶粒尺寸数据：对步骤3)获得的晶粒尺寸数据绘制分布直方图，并采用对数正态分布概率密度函数拟合直方图并提取期望和标准差；

5)定量表征晶粒尺寸分布不均匀性：对于步骤4)得到的对数正态分布拟合曲线计算晶粒尺寸分布均匀系数判断电阻片晶粒尺寸分布均匀程度。

2.根据权利要求1所述的定量表征氧化锌电阻片微观晶粒尺寸分布均匀性的方法，其特征在于，步骤4)，对数正态概率密度其定义为：

式中：x是晶粒尺寸数据；

f(x)是对数正态分布概率密度；

μ是描述对数正态分布的位置参数；

σ是描述对数正态分布的形状参数。

3.根据权利要求1所述的定量表征氧化锌电阻片微观晶粒尺寸分布均匀性的方法，其特征在于，步骤5)，从对数正态分布拟合曲线中提取标准差SD(x)和期望E(x)，其计算公式如下：

式中：x是晶粒尺寸数据；

E(x)是对数正态分布期望；

SD(x)是对数正态分布标准差；

μ是描述对数正态分布的位置参数；

σ是描述对数正态分布的形状参数。

进一步地，得到定量表征晶粒尺寸分布不均匀系数CV(x)为：

式中：x是晶粒尺寸数据；

CV(x)是晶粒尺寸分布不均匀系数；

E(x)是对数正态分布期望；

SD(x)是对数正态分布标准差。

4.根据权利要求1所述的定量表征氧化锌电阻片微观晶粒尺寸分布均匀性的方法，其特征在于，步骤5)，根据计算出来的不均匀系数CV(x)的结果定量判断氧化锌电阻片微观晶粒尺寸分布的均匀程度：不均匀系数CV(x)越小，晶粒尺寸分布越均匀；反之，不均匀系数越大，晶粒尺寸分布越不均匀。