[发明专利]一种扭转微镜的跟踪扫描系统在审

专利信息
申请号: 202010381395.X 申请日: 2020-05-08
公开(公告)号: CN111624764A 公开(公告)日: 2020-09-04
发明(设计)人: 秦毅;陈辉;姚智伟;王福杰;任斌;郭芳;戚远航 申请(专利权)人: 东莞理工学院
主分类号: G02B26/10 分类号: G02B26/10
代理公司: 北京翔石知识产权代理事务所(普通合伙) 11816 代理人: 李勇
地址: 523808 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 扭转 跟踪 扫描 系统
【说明书】:

发明公开了一种扭转微镜的跟踪扫描系统,包括扭转微镜跟踪扫描系统,所述扭转微镜跟踪扫描系统的输入端与电源模块的输出端电性连接,所述扭转微镜跟踪扫描系统的输出端与显示单元和摄像头的输入端电性连接,所述扭转微镜跟踪扫描系统与高速缓存模块实现双向连接,所述高速缓存模块与网络数据库实现双向连接,所述数据比较模块与高速缓存模块实现双向连接,本发明涉及扭转微镜技术领域。该扭转微镜的跟踪扫描系统,系统能够首先通过初步调节再通过辅助调节对扭转微镜的转动幅度进行精准调节,并且通过角度校准和跟随调节使得系统稳定,解决了传统的扭转微镜的跟踪扫描系统在使用时,扭转微镜角度调节精准度不高的问题。

技术领域

本发明涉及扭转微镜技术领域,具体为一种扭转微镜的跟踪扫描系统。

背景技术

微机电系统也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。微机电系统是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新技术,MEMS扭转微镜在光开关、医疗成像、高清晰投影和光学相干断层扫描等领域获得广泛应用。

传统的扭转微镜的跟踪扫描系统在使用时,往往需要机械的调节扭转微镜的具体角度,但是传统的扭转微镜调节模式单一,另外缺乏信号反馈,导致扭转微镜角度调节的精准度不高,因此急需一种能够提高扭转微镜转动精度的跟踪扫描系统。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本发明提供了一种扭转微镜的跟踪扫描系统,解决了传统的扭转微镜的跟踪扫描系统在使用时,往往需要机械的调节扭转微镜的具体角度,但是传统的扭转微镜调节模式单一,另外缺乏信号反馈,导致扭转微镜角度调节精准度不高的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的,本发明通过以下技术方案予以实现:一种扭转微镜的跟踪扫描系统,包括扭转微镜跟踪扫描系统,所述扭转微镜跟踪扫描系统的输入端与电源模块的输出端电性连接,所述扭转微镜跟踪扫描系统的输出端与显示单元和摄像头的输入端电性连接,所述扭转微镜跟踪扫描系统与扭转微镜精准转动模块、扭转微镜反馈接收模块、扭转微镜信号处理模块和扭转微镜信号生成模块实现双向连接,所述扭转微镜跟踪扫描系统与高速缓存模块实现双向连接,所述高速缓存模块与网络数据库实现双向连接,所述扭转微镜精准转动模块、扭转微镜反馈接收模块、扭转微镜信号处理模块和扭转微镜信号生成模块的输出端与数据比较模块的输入端电性连接,所述数据比较模块的输出端与报警模块的输入端电性连接,所述数据比较模块与高速缓存模块实现双向连接,所述扭转微镜精准转动模块包括扭转微镜初步调节模块、扭转微镜辅助调节模块、扭转微镜角度校准模块、扭转微镜跟随调节模块和转动日志保存模块。

优选的,所述扭转微镜初步调节模块的输出端与扭转微镜辅助调节模块的输入端电性连接,所述扭转微镜辅助调节模块的输出端与扭转微镜角度校准模块的输入端电性连接,所述扭转微镜角度校准模块的输出端与扭转微镜跟随调节模块的输入端电性连接,所述扭转微镜跟随调节模块的输出端与转动日志保存模块的输入端电性连接。

优选的,所述扭转微镜反馈接收模块包括扭转微镜接收信号放大模块、扭转微镜信号验证模块、反馈信号基本处理模块和反馈信号传递保存模块。

优选的,所述扭转微镜接收信号放大模块的输出端与扭转微镜信号验证模块的输入端电性连接,所述扭转微镜信号验证模块的输出端与反馈信号基本处理模块的输入端电性连接,所述反馈信号基本处理模块的输出端与反馈信号传递保存模块的输入端电性连接。

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