[发明专利]加工装置

权利要求书

1.一种加工装置，其中，

该加工装置具有：

卡盘工作台，其具有对圆板状的被加工物进行保持的保持面；

加工单元，其对该卡盘工作台的该保持面上所保持的被加工物进行加工；

暂放单元，其暂放该被加工物；

搬送机构，其将暂放于该暂放单元的被加工物搬送至该卡盘工作台；以及

控制单元，

该搬送机构包含：

吸引垫，其具有对被加工物的中央部分进行吸引保持的吸引面；

板，其在中央将该吸引垫支承为在与该吸引面垂直的方向上升降自如；

圆环状的第1环状密封件，其以该板的下表面的中心为中心而配设于该下表面；

圆环状的第2环状密封件，其在该板的下表面中的该第1环状密封件的外侧与该第1环状密封件呈同心圆状配设；

臂，其具有对该板进行支承的支承部；以及

升降单元，其使该臂在与该吸引垫的该吸引面垂直的方向上升降，

该控制单元包含：

第1控制部，其在该吸引垫对暂放于该暂放单元的被加工物进行吸引保持的状态下，对该升降单元进行控制而使该板与该臂一起从该保持面的上方下降，从而使被加工物与该保持面接触，使该第1环状密封件与被加工物的外周部分的上表面接触，并且使该第2环状密封件与该保持面中的比被加工物靠外侧的位置接触，从而通过该保持面中的比被加工物靠外侧的部分、该第1环状密封件的外壁、该板的下表面以及该第2环状密封件的内壁而形成作为密室的环状空间；

第2控制部，其在所述环状空间成为密室的状态下，打开配设于使该保持面与吸引源连通的吸引路中的吸引阀，使该环状空间成为负压，从而通过大气压将该板朝向该保持面按压，并且通过该第1环状密封件将被加工物的外周部分按压至该保持面，从而将被加工物吸引保持于该保持面；以及

第3控制部，其在被加工物被吸引保持于该保持面之后，打开配设于将该吸引垫的该吸引面与空气提供源连通的空气提供路中的空气阀，使被加工物从该吸引面离开，

该支承部具有开闭阀，该板与该臂一起下降，该开闭阀形成作为密室的该环状空间，另一方面在形成有该作为密室的环状空间的状态下，该臂上升，该开闭阀使该环状空间向大气开放。