[发明专利]地壳钻孔体积式应变仪

权利要求书

1.一种地壳钻孔体积式应变仪，设于地下钻孔内，其特征在于：包括圆筒体(10)，圆筒体(10)内设隔板(11)将圆筒体(10)分为上腔与下腔，上腔为测量腔(5)，下腔为感受腔(7)；感受腔(7)内设金属柱芯(8)，感受腔(7)内充满硅油(9)；测量腔(5)下部充硅油(9)上部充氩气(2)；所述的隔板(11)上有电磁阀(4)，连通或封闭测量腔(5)与感受腔(7)的硅油通路；

所述的感受腔(7)内设两个以上的MEMS压力传感器(12)，MEMS压力传感器(12)固定于金属柱芯(8)或隔板(11)的下表面上；

所述的测量腔(5)上顶部设有独立的顶腔(13)，顶腔(13)内设电路模块(14)，MEMS压力传感器(12)的连接线穿过隔板(11)与测量腔(5)顶板(16)绝缘连接电路模块(14)，电路模块(14)通过外接电缆(15)与地面电子线路连接。

2.根据权利要求1所述的地壳钻孔体积式应变仪，其特征在于，所述的MEMS压力传感器(12)包括的两个、三个、四个、五个或六个。

3.根据权利要求1或2所述的地壳钻孔体积式应变仪，其特征在于，所述的MEMS压力传感器(12)每个均采用相互独立的屏蔽线作为连接线，独立连接。

4.根据权利要求1或2所述的地壳钻孔体积式应变仪，其特征在于，所述的感受腔(7)内设电阻丝(6)，电阻丝(6)的连接线穿过隔板(11)与测量腔(5)顶板(16)绝缘连接外接电缆(15)。

5.根据权利要求1或2所述的地壳钻孔体积式应变仪，其特征在于，所述的圆筒体(10)下端设有下锥体(17)。