[发明专利]一种激光焊接装置

说明书

本发明的实施例提供了一种激光焊接装置，涉及半导体技术领域。激光焊接装置包括驱动件、入射镜、安装架及多个反射镜，安装架上设置固定件，固定件包括多个固定部，多个固定部与多个反射镜对应设置，驱动件与入射镜传动连接，驱动件用于驱动入射镜转动，使经过入射镜的入射光线，经过反射镜的反射后形成反射光线，反射光线射向固定部，以焊接固定在固定部上的工件。在本发明中，在驱动件的驱动下，经过入射镜的入射光线依次作用在多个反射镜上形成多个能量密度相同的光斑，从而焊接多个固定部上的工件，提高工件的焊接效果。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种激光焊接装置。

背景技术

多点位能量敏感材料涉及同一平面上多个位置的焊接，但同时对入射点光斑能量密度和尺寸一致性要求较高。

二维或三维振镜依靠振镜的偏转能够根据规划路径实现高速激光焊接，因此又被称为飞行焊接，焊接过程中能够实现双向或单向的光束摆动，有利于增加激光小孔存在时间和熔池的稳定性，降低气孔和飞溅率。但现有的振镜焊接具有局限性，无法保证多个位置上的材料的焊接能量一致，导致工件的焊接效果差。

发明内容

本发明的目的在于提供了一种激光焊接装置，主要用于焊接能量敏感材料，本发明提供的激光焊接装置能够形成多个能量密度相同的光斑，提高工件的焊接效果。

本发明的实施例可以这样实现：

本发明实施例提供了一种激光焊接装置包括：驱动件、入射镜、安装架及多个反射镜，所述安装架上设置固定件，所述固定件包括多个固定部，多个所述固定部与多个所述反射镜对应设置，所述驱动件与所述入射镜传动连接，所述驱动件用于驱动所述入射镜转动，使经过所述入射镜的入射光线，经过所述反射镜的反射后形成反射光线，所述反射光线射向所述固定部，以焊接固定在所述固定部上的工件。

在本发明可选的实施例中，所述驱动件用于驱动所述入射镜转动预设角度，使所述入射光线从其中一个所述反射镜转至相邻的所述反射镜。

在本发明可选的实施例中，所述相邻的两个所述反射镜的所述入射光线形成入射夹角，任意的两个所述入射夹角相等。

在本发明可选的实施例中，所述入射光线的光路与所述反射光线的光路之和形成焊接光路，多个所述焊接光路路径相等。

在本发明可选的实施例中，所述激光焊接装置还包括多个聚焦镜，多个所述聚焦镜与多个所述反射镜一一对应设置，所述反射光线穿过所述聚焦镜射向所述固定部。

在本发明可选的实施例中，安装在所述固定部上的所述工件位于所述聚焦镜的焦点平面。

在本发明可选的实施例中，所述固定件为多个，所述安装架上设置有驱动部，所述驱动部用于驱动所述安装架运动，使位于所述反射镜下方的所述固定件上的所述工件焊接完成后，与之相邻的所述固定件运动至所述反射镜的下方。

在本发明可选的实施例中，多个所述固定件呈矩阵排列，所述驱动部用于驱动所述安装架移动，使位于所述反射镜下方的所述固定件上的所述工件焊接完成后，与之相邻的所述固定件移动至所述反射镜的下方。

在本发明可选的实施例中，多个所述固定件呈环状排列，所述驱动部用于驱动所述安装架转动，使位于所述反射镜下方的所述固定件上的所述工件焊接完成后，与之相邻的所述固定件转动至所述反射镜的下方。

在本发明可选的实施例中，相邻的两个所述固定部之间的间隙不大于0.05mm。

本发明实施例的有益效果：激光焊接装置包括驱动件、入射镜、安装架及多个反射镜，安装架上设置固定件，固定件包括多个固定部，多个固定部与多个反射镜对应设置，驱动件与入射镜传动连接，驱动件用于驱动入射镜转动，使经过入射镜的入射光线，经过反射镜的反射后形成反射光线，反射光线射向固定部，以焊接固定在固定部上的工件。