[发明专利]一种反射光相位信息表征装置及其测量方法

权利要求书

1.一种反射光相位信息表征装置，包括：光源(1)、起偏器(2)、第一1/4波片(3)、第一偏振分束器(4)、第一样品台(5)、第二偏振分束器(6)、第一反射镜(7)、第二样品台(8)、第二反射镜(9)、第二1/4波片(10)、检偏器(11)、探测器(12)，其特征在于：

所述装置的左侧为左臂，右侧为右臂，其中左臂包括：光源(1)、起偏器(2)、第一1/4波片(3)、第一偏振分束器(4)、第一反射镜(7)，右臂包括：第二偏振分束器(6)、第二反射镜(9)、第二1/4波片(10)、检偏器(11)、检偏器(12)，并且左臂与右臂可独立围绕垂直于第一样品台(5)的台面中心轴旋转；

其光路特征在于：从光源(1)出来的光首先经过起偏器(2)、第一1/4波片(3)，其次经过第一偏振分束器(4)，将光路分为光路1与光路2两条光路；光路1的光经过第一样品平台(5)上被测样品后进入第二偏振分束器(6)，光路2的光经过第一反射镜(7)后入射在第二样品平台(8)的标准样件上，之后经过第二反射镜(9)后进入第二偏振分束器6，汇合后的两束光同时出射依次经过第二1/4波片(10)、检偏器(11)，最后进入探测器(12)。

2.根据权利要求1所述的一种反射光相位信息表征装置，其特征在于，所述的第一偏振分束器(4)的分光比1：1。

3.一种基于权利要求1所述的一种反射光相位信息表征装置的反射光相位信息测量方法，其特征在于包括以下步骤：

步骤1：固定入射角度θ₁；

步骤2：背景测试：第一样品平台(5)与第二样品平台(8)同时放入标准样件探测器探测光谱I₀，计算相位角Δ₀；

步骤3：被测样品P偏振反射光测试：在第一样品平台(5)上放入被测样品，而第二样品平台(8)上仍放置标准样件探测器探测光谱I₁，计算相位角Δ₁；

步骤4：计算样品反射光谱强度变化I为：

I＝I₁-I₀

步骤5：计算样品反射引起的相位变化Δ为：

Δ＝Δ₁-Δ₀

步骤6：旋转左臂与右臂入射角与出射角均为θ₂，重复步骤3-5测量入射角度为θ₂时的反射光谱强度与相位变化。

步骤7：步骤3中，在第一样品平台(5)上放入标准样件，而第二样品平台(8)上放置被测样品，重复步骤3-步骤6测量被测样品S偏振反射光谱强度与相位信息。