[发明专利]一种准中性等离子体束流引出装置

权利要求书

1.一种准中性等离子体束流引出装置，其特征在于：包括安装于等离子体源容器出口处的栅极系统和电源系统，所述栅极系统包括层叠组装的屏栅和加速栅，所述栅极系统、电源系统、等离子体串联组成闭合回路。

2.根据权利要求1所述的准中性等离子体束流引出装置，其特征在于：所述电源系统包括电容、射频电源其及匹配器，所述射频电源其及匹配器通过串联所述电容与所述屏栅连接，所述加速栅接地。

3.根据权利要求1所述的准中性等离子体束流引出装置，其特征在于：所述准中性等离子体束流引出装置还包括等离子体源容器，所述屏栅较所述加速栅靠近所述等离子体源容器。

4.根据权利要求1所述的准中性等离子体束流引出装置，其特征在于：所述栅极系统还包括加速栅偏压金属垫片、栅极间绝缘垫片、屏栅偏压金属垫片，所述屏栅偏压金属垫片、屏栅、栅极间绝缘垫片、加速栅、加速栅偏压金属垫片呈片状结构沿引出方向依次叠加组装。

5.根据权利要求4所述的准中性等离子体束流引出装置，其特征在于：所述屏栅上设有第一引出孔，所述加速栅上设有第二引出孔，所述第一引出孔的孔径大于或者等于第二引出孔的孔径。

6.根据权利要求5所述的准中性等离子体束流引出装置，其特征在于：所述第一引出孔、第二引出孔的轴线重叠。

7.根据权利要求4所述的准中性等离子体束流引出装置，其特征在于：所述栅极间绝缘垫片厚度为1mm，材料为高温绝缘材料，所述屏栅和加速栅的材料为防带电粒子溅射材料。

8.根据权利要求4所述的准中性等离子体束流引出装置，其特征在于：所述加速栅偏压金属垫片、屏栅偏压金属垫片上均设有用于连接射频电压的偏压金属垫片电极柱。

9.根据权利要求1所述的准中性等离子体束流引出装置，其特征在于：所述电源系统的射频频率在电子等离子体频率和离子等离子体频率之间。

10.根据权利要求1所述的准中性等离子体束流引出装置，其特征在于：所述电源系统的射频信号振幅可调，用以调整等离子体束流能量。