[发明专利]用于翘曲晶圆加工的同轴视觉激光输出装置

权利要求书

1.一种用于翘曲晶圆加工的同轴视觉激光输出装置，其特征在于，包括折射腔体（1）、反射镜架（2）、聚焦镜筒（4）、显微镜筒（10）、工业相机（11）及激光器装配机构（17）；

所述折射腔体（1）为三面开口的中空六面体结构；所述激光器装配机构（17）的出射口与折射腔体（1）侧面光路通孔垂直相接；所述反射镜架（2）置于折射腔体（1）之内，其上设有反射镜片（3）；所述反射镜架（2）中心与激光器装配机构（17）的激光束入射中心共线；所述激光器装配机构（17）的激光束通过折射腔体（1）的光路通孔照射到反射镜架（2）中心，形成激光光束向下垂直折射；

所述显微镜筒（10）固定垂直设于折射腔体（1）顶部之上；所述工业相机（11）固定设于显微镜筒（10）之上；可见光光束经反射镜架（2）中心，经显微镜筒（10）放大，进入工业相机（11）靶面；

所述聚焦镜筒（4）经L型连接板（6）固定垂直设于折射腔体（1）底部。

2.根据权利要求1所述的用于翘曲晶圆加工的同轴视觉激光输出装置，其特征在于：还设有辅助气幕结构（12）；所述辅助气幕结构（12）的顶部与聚焦镜筒（4）的底部固定卡接；所述辅助气幕结构（12）包括中心喷嘴组及环形喷嘴组；所述中心喷嘴组包括中心喷嘴（13）及中心喷嘴进气管（14）；所述环形喷嘴组包括环形喷嘴体（15）及喷嘴（16）；所述喷嘴（16）置于环形喷嘴体（15）下部，其入口与环形喷嘴体（15）垂直相接。

3.根据权利要求2所述的用于翘曲晶圆加工的同轴视觉激光输出装置，其特征在于：所述L型连接板（6）与微位移平台（7）一侧固定相接；所述折射腔体（1）与微位移平台（7）的另一侧固定相接；所述固定块（8）与L型连接板（6）和折射腔体（1）分别固定连接。

4.根据权利要求3所述的用于翘曲晶圆加工的同轴视觉激光输出装置，其特征在于：所述环形喷嘴（16）为3个，且于环形喷嘴体（15）上呈均匀布置，布置角度120度。

5.根据权利要求4所述的用于翘曲晶圆加工的同轴视觉激光输出装置，其特征在于：所述环形喷嘴（16）的孔距为80～100mm；所述环形喷嘴（16）口径为2～8mm；所述气幕结构（12）中心喷嘴（13）与环形喷嘴（16）通过控制电磁阀进行分时喷气或同时喷气控制。

6.根据权利要求5所述的用于翘曲晶圆加工的同轴视觉激光输出装置，其特征在于：所述反射镜架（2）采用多维调节结构，其中XYZ三个方向的调节范围为0～5mm；反射镜偏转角度调节范围为35～55度。

7.根据权利要求6所述的用于翘曲晶圆加工的同轴视觉激光输出装置，其特征在于：在所述聚焦镜筒（4）下方设有环形LED光源（9）。