[发明专利]一种水质判定系统

说明书

本发明公开一种水质判定系统，包括均与制程排水口连接的至少两个收集水箱，每个收集水箱均单独依次循环进行补水、水质检测、排水工序，收集水箱均设置有用于与制程排水口连接的补水口和用于排水的排水口，补水口设置有补水阀，排水口设置有排水阀；用于检测收集水箱内水的水质的水质检测装置；与收集水箱的排水口连接的水排放分流装置，水排放分流装置包括并联的回用水收集结构和废水收集结构，回用水收集结构和废水收集结构能够根据水质检测装置的检测结果切换开闭；用于将收集水箱内的水排放到水排放分流装置的输送泵；当其中一个收集水箱进行水质检测工序时，其他的收集水箱进行排水工序和/或补水工序。提高了制程排放水的水质判定效率。

技术领域

本发明涉及水处理技术领域，更具体地说，涉及一种水质判定系统。

背景技术

微电子制造厂的制程排放水，特别是大部分工艺清洗水，是用超纯水来冲洗产品，往往只含有微量的化学品等杂质，电导率和TOC含量都比较低，具有非常高的回收利用价值。

但制程具有不确定性和突发性，因此制程排放水的水质同样有可能产生比较大的波动。我们需要准确检测回收水的水质，进而判断该股回收水是否值得回收。

回收水中无机杂质的含量，通常可以借助电导率、pH值等仪表进行实时检测，但回收水中有机杂质的含量，需要通过TOC(Total Organic Carbon的简称，总有机碳分析仪)仪表来检测。TOC仪表的检测原理通常是用UV照射将有机物氧化为二氧化碳和水，通过检测水样氧化前后电导率的变化值，进而计算出有机物的含量。

由于有机物的氧化分解需要一定的时间，因此TOC的检测周期也需要一定时间，此时水质判定系统处于等待状态，影响了制程排放水的水质判定效率。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于公开一种水质判定系统，以提高制程排放水的水质判定效率。

为了达到上述目的，本发明公开如下技术方案：

一种水质判定系统，包括：

均与制程排水口连接的至少两个收集水箱，每个所述收集水箱均单独依次循环进行补水、水质检测、排水工序，所述收集水箱均设置有用于与所述制程排水口连接的补水口和用于排水的排水口，所述补水口设置有补水阀，所述排水口设置有排水阀；

用于检测所述收集水箱内水的水质的水质检测装置；

与所述收集水箱的排水口连接的水排放分流装置，所述水排放分流装置包括并联的回用水收集结构和废水收集结构，所述回用水收集结构和所述废水收集结构能够根据所述水质检测装置的检测结果切换开闭；

用于将所述收集水箱内的水排放到所述水排放分流装置的输送泵；

其中，当其中一个所述收集水箱进行水质检测工序时，其他的所述收集水箱进行排水工序和/或补水工序。

优选的，上述水质判定系统中，所有所述收集水箱内水的水质均通过同一套水质检测装置检测，所述水质检测装置包括：

循环管道，所述循环管道的进口能够与每个所述收集水箱的循环出口切换连接，所述循环管道的出口能够与每个所述收集水箱的循环入口切换连接，所述循环出口均设置有循环出口阀，所述循环入口设置有循环入口阀；

用于将所述收集水箱内的水引入所述循环管道内的循环取样泵；

设置在所述循环管道上的水质检测仪表。

优选的，上述水质判定系统中，所述循环取样泵为两个，并联设置在所述循环管道上。

优选的，上述水质判定系统中，所述水质检测仪表包括：

用于检测水的双氧水浓度的双氧水检测仪；

用于检测水的有机杂质含量的TOC检测仪；