[发明专利]一种基于碳化硅衬底的生物芯片制备方法

权利要求书

1.一种基于碳化硅衬底的生物芯片，包括石墨烯覆膜(1)、碳化硅衬底基底(2)和生物芯片单元(3)，石墨烯覆膜(1)附着在碳化硅衬底基底(2)上，生物芯片单元(3)集成在石墨烯覆膜(1)上。

2.根据权利要求1所述的一种基于碳化硅衬底的生物芯片，其特征在于：所述生物芯片单元(3)包括生物芯片系统(3-1)、微泵(3-2)、等离子系统(3-3)、色彩识别系统(3-4)、温控系统(3-5)、微波清洗系统(3-6)和供电系统，生物芯片系统(3-1)、微泵(3-2)、等离子系统(3-3)、色彩识别系统(3-4)、温控系统(3-5)和微波清洗系统(3-6)集成石墨烯覆膜(1)上。

3.根据权利要求2所述的一种基于碳化硅衬底的生物芯片，还包括基因探针，基因探针设置在生物芯片系统(3-1)上。

4.一种基于碳化硅衬底的生物芯片制备方法，制备步骤如下：

步骤a，在碳化硅衬底基底(2)上附着上石墨烯覆膜(1)；

步骤b，采用切割、研磨、抛光工艺在步骤a中加工好的碳化硅衬底基底石墨烯覆膜(1)上加工制作微流道；

步骤c，在步骤b加工出来的微流道上固定安装基因探针和化学修饰单元；

步骤d，采用切割、研磨、抛光工艺在步骤c中加工好的石墨烯覆膜(1)上加工制作生物芯片单元(3)。

5.根据权利要求4所述的一种基于碳化硅衬底的生物芯片制备方法，其特征在于：步骤d中所述生物芯片单元(3)包括生物芯片系统(3-1)、微泵(3-2)、等离子系统(3-3)、色彩识别系统(3-4)、温控系统(3-5)、微波清洗系统(3-6)和供电系统，生物芯片系统(3-1)，微泵(3-2)，等离子系统(3-3)，色彩识别系统(3-4)，温控系统(3-5)和微波清洗系统(3-6)集成到石墨烯覆膜(1)上。