[发明专利]掩膜版

权利要求书

1.一种掩膜版，其特征在于，包括：

矩形区；

两个夹爪区，两个所述夹爪区分别位于所述矩形区相对的两个边上，所述夹爪区具有彼此正对设置的第一边和第三边、第二边和第四边，所述第一边位于所述矩形区的边上，所述第二边和所述第四边之间的最小水平间距小于所述第一边的边长，

每个所述夹爪区包括至少两个间隔设置的子夹爪区，相邻两个所述子夹爪区之间具有凹槽，

所述第二边包括相互连接的第一直线段和第一圆弧段，且所述第一圆弧段与所述矩形区相连；所述第四边包括相互连接的第二直线段和第二圆弧段，且所述第二圆弧段与所述矩形区相连，

所述第一边、所述第一圆弧段和所述矩形区的第一顶点具有第一交点，所述第一边、所述第二圆弧段和所述矩形区的第二顶点具有第二交点，所述第一交点、所述第二交点以及所述凹槽的底部的最低点在同一直线上，其中，所述第一顶点为所述矩形区设置所述夹爪区的边靠近所述第二边的顶点，所述第二顶点为所述矩形区设置所述夹爪区的边靠近所述第四边的顶点，

在所述第一边的长度方向上，所述第一直线段与所述第一交点之间的水平间距和所述第二直线段与所述第二交点之间的水平间距之和为所述第一边边长的30％～40％。

2.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，定义所述第一圆弧段靠近所述矩形区的顶点与所述第二圆弧段靠近所述矩形区的顶点之间的连线为第二直线，在所述第一直线段的长度方向上，所述凹槽的底部的最低点位于所述第二直线靠近所述矩形区的一侧或远离所述矩形区的一侧。

3.根据权利要求1～2中任一项所述的掩膜版，其特征在于，所述掩膜版关于第一直线对称，所述第一直线与所述第一边相垂直，且过所述矩形区的中心点。

4.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述凹槽包括依次连接的第三直线段、第三圆弧段和第四直线段，其中，所述第一圆弧段和所述第二圆弧段的半径均为r1，所述第三圆弧段的半径为r2，其中，r1≥r2。

5.根据权利要求4所述的掩膜版，其特征在于，r1-r2≤20毫米。

6.根据权利要求4所述的掩膜版，其特征在于，所述第一直线段、所述第二直线段、所述第三直线段和所述第四直线段的长度分别为10～20毫米。

7.根据权利要求4所述的掩膜版，其特征在于，r1为15～30毫米，r2为15～25毫米。

8.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，每个所述子夹爪区远离所述第一边的边长的长度为10毫米～40毫米。