[发明专利]一种热压印用柔性金属微模具的制造方法

权利要求书

1.一种热压印用柔性金属微模具的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1：对金属箔进行退火处理，消除内应力并降低硬度；

步骤2：采用金属箔表面微结构激光连续加工装置对退火后的金属箔进行加工，在金属箔的一面加工得到金属微模具需要的微结构；

步骤3：带有微结构的金属箔再次进行退火处理，去除金属箔内因加工产生的残余应力；

步骤4：将热塑性塑料薄膜或热固性塑料薄膜与金属箔无结构侧结合在一起，从而得到热压印用柔性金属微模具。

2.根据权利要求1所述的热压印用柔性金属微模具的制造方法，其特征在于，所述金属箔厚度不大于200μm，所述步骤1中退火温度高于金属箔的再结晶温度，且低于0.7倍的熔点，退火时间不小于20min。

3.根据权利要求1所述的热压印用柔性金属微模具的制造方法，其特征在于，所述金属箔表面微结构激光连续加工装置包括激光模块和材料传输模块；所述材料传输模块包括底部升降台(8)、顶部升降架(5)，所述底部升降台(8)上固定原模(7)，所述顶部升降架(5)上固定透明传输层(4)；底部升降台(8)的一侧设有第一张紧辊筒(13)、绕有牺牲层(12)的第一放卷辊筒(11)以及绕有金属箔(17)的第二放卷辊筒(16)，底部升降台(8)的另一侧设有第二张紧辊筒(14)、回收所述牺牲层(12)的第一收卷辊筒(15)以及回收所述金属箔(17)的第二收卷辊筒(18)；所述牺牲层(12)和金属箔(17)经所述第一张紧辊筒(13)和第二张紧辊筒(14)层叠张紧后从原模(7)和透明传输层(4)之间穿过；所述激光模块位于顶部升降架(5)上方。

4.根据权利要求1所述的热压印用柔性金属微模具的制造方法，其特征在于，所述步骤3中，退火温度低于金属箔的再结晶温度，且高于0.2倍的熔点，退火时间不小于20min。

5.根据权利要求1所述的热压印用柔性金属微模具的制造方法，其特征在于，所述热塑性塑料薄膜或热固性塑料薄膜的厚度不大于1mm。

6.根据权利要求3所述的热压印用柔性金属微模具的制造方法，其特征在于，所述透明传输层(4)为厚度不小于1mm的玻璃。

7.根据权利要求3所述的热压印用柔性金属微模具的制造方法，其特征在于，所述牺牲层(12)为厚度小于0.2mm且上表面覆有黑漆的金属薄膜。