[发明专利]一种镀层平整度测量头

权利要求书

1.一种镀层平整度测量头，包括底座1和测量装置2，其特征在于：所述测量装置2包括护套3，所述护套3内设有基体4，所述基体4上方设有弹簧座5，所述弹簧座5上套有复位弹簧6，所述弹簧座6上设有导向板7，所述导向板7上端设有位移传感器8，所述位移传感器8通过支架9固定在护套3内部，所述位移传感器8通过信号线连接着电源接头24，所述电源接头24用于与电源座20上的电源接口相接，所述基体4下方连接着测杆座10，所述护套3底端设有测杆11，所述测杆11穿过护套3底端的通孔12与护套3内的测杆座10相连接，所述测杆11上连接着测量头13，所述测量头13呈长方形设计，所述测量头13上安装有多个方形凸起的触头14。

2.根据权利要求1所述的一种镀层平整度测量头，其特征在于：所述底1座两端分别设有左支撑架15和右支撑架16，所述左支撑架15和右支撑架16上端连接着上支架17，所述底座1上设有下滑轨18，所示上支架17设有上滑轨19，所述上滑轨19与上支架17之间设有磁铁片，所述下滑轨18与底座1之间设有磁铁片，所述上滑轨19和下滑轨18上均设有电源座20，所述电源座20上设有多个电源接口，所述电源座20通过滑轮与上滑轨18和下滑轨19相连接，所述左支撑架15和右支撑架16上分别设有工作台一22和工作台二23，所述左支撑架15和右支撑架16的上下两端分别设有防撞击垫片24，所述防撞击垫片24与电源座20相对应。

3.根据权利要求1所述的一种镀层平整度测量头，其特征在于：所述工作台一22包括上固定架24和下固定架25，所述上固定架24旁设有调整件26与之相对应，所述上固定架24上设有长条形轨道27，所述长条形轨道27上设有可上下移动的活动螺杆28，所述活动螺杆28一端通过螺母与调整件26相固定，所述活动螺杆28另一端连接着驱动机构29，所述驱动机构29连接着驱动电机30，所述驱动电机30固定在上固定架24上，所述调整件26下端设有物料夹31，所述物料夹31一端连接着活动部32，所述活动部32上设有传感器33，所述下固定架25上的部件与上固定架24上的部件的连接方式及结构一致，所述工作台一22与所述工作台二23结构一致。