[发明专利]一种陶瓷电容式压力传感器电极的制备方法

权利要求书

1.一种陶瓷电容式压力传感器电极的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：

步骤一：采用陶瓷材料作为陶瓷电容式压力传感器芯片的基底，经过表面打磨、清洗、烘干后备用；

步骤二：金浆配置：按重量百分比计算，将15wt.％～25wt.％乙基纤维素树脂加入到40wt.％～70wt.％有机溶剂中，纳米金颗粒含量为10wt.％～35wt.％，分散剂含量为3wt.％～6wt.％，在恒温水槽中加热至溶解完全，搅拌制得镀制电极用金浆；

步骤三：丝网印刷：将步骤二配置好的金浆，采用丝网印刷方法将金浆印刷在步骤一处理好后陶瓷表面；

步骤四：将步骤三中印刷好的陶瓷基底置于烘箱内烘干处理；

步骤五：将步骤四中烘干处理后的陶瓷基底置于高温炉内进行烧结，制得陶瓷电容式压力传感器电极。

2.根据权利要求1所述的一种陶瓷电容式压力传感器电极的制备方法，其特征在于，步骤一中，所述表面打磨采用抛光机将陶瓷表面打磨，经过抛光后的陶瓷面粗糙度控制在0.5μm～5.0μm；所述清洗是酒精或丙酮超声清洗20min-120min；所述烘干是在烘箱内烘干，烘干温度控制在75℃～120℃，时间0.5h～2.0h。

3.根据权利要求1所述的一种陶瓷电容式压力传感器电极的制备方法，其特征在于，步骤一中，所述的陶瓷材料为纯氧化物陶瓷或非氧化物系陶瓷；所述纯氧化物陶瓷为Al₂O₃、ZrO₂、MgO、CaO、BeO或ThO₂；所述非氧化物系陶瓷为碳化物、硼化物、氮化物和硅化物陶瓷中的一种。

4.根据权利要求1所述的一种陶瓷电容式压力传感器电极的制备方法，其特征在于，步骤二中，所述的纳米金颗粒粒径为5nm～800nm，所述的溶剂为丁基卡必醇、松油醇中的一种或两种混合物，所述的分散剂为司盘85、大豆卵磷脂、鱼油的一种或两种混合物；所述加热温度为80℃～100℃；所述搅拌速度为300rpm～1000rpm，搅拌时间为1h～8h。

5.根据权利要求1所述的一种陶瓷电容式压力传感器电极的制备方法，其特征在于，步骤三中，所述的金浆粘度控制在60pa·s～300pa·s，丝网印刷次数为1-5次，网板目数为100目～800目，网板与陶瓷基底间距为0.5mm～20mm。

6.根据权利要求1所述的一种陶瓷电容式压力传感器电极的制备方法，其特征在于，步骤四中，所述烘干温度控制在80℃～110℃，烘干时间0.5h～2.0h。

7.根据权利要求1所述的一种陶瓷电容式压力传感器电极的制备方法，其特征在于，步骤五中，所述的高温炉内烧结工艺为：烧结温度为400℃～1000℃，升温速度为1℃/min～20℃/min，保温时间0.5h～2.0h，自然降温。

8.根据权利要求1所述的一种陶瓷电容式压力传感器电极的制备方法，其特征在于，所述陶瓷电容式压力传感器电极的电阻值小于1.0Ω/cm²，金颗粒与基底界面结合强度大于20MPa。