[发明专利]光反射装置及其制造方法、成像部件及光处理系统

权利要求书

1.一种光反射装置，包括光阑和成像部件，所述光阑具有用于使入射光束射向所述成像部件的孔径，所述成像部件包括基底，在所述基底面向所述光阑的一侧设置有反射元件，用于将通过所述光阑的所述孔径接收的光反射向用于成像的透镜组件，其特征在于，

在所述光阑面向光入射的方向的一侧，在所述孔径之外的区域形成有至少一个光阑微反射部件，用于将所述入射光束中照射在所述光阑微反射部件的光中的至少一部分偏离向所述透镜组件传播的方向。

2.根据权利要求1所述的光反射装置，其中，多个所述光阑微反射部件在所述光阑孔径之外的区域形成微反射部件阵列。

3.根据权利要求1所述的光反射装置，其中，所述光阑微反射部件包括第一反射面，所述第一反射面由第一预设母线沿第一预设方向延展形成。

4.根据权利要求1所述的光反射装置，其中，所述光阑微反射部件至少部分地围绕所述孔径设置，用于将所述入射光束中照射在其上的光反射向背离所述孔径的方向。

5.根据权利要求1所述的光反射装置，其中，在所述光阑面向光入射的方向的一侧，在所述孔径之外的区域设置有消光膜。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的光反射装置，其中，在所述基底的所述一侧中除了设置所述反射元件的至少一部分处设置有至少一个基底微反射部件，用于将所述入射光束中照射在所述基底微反射部件的光中的至少一部分偏离向所述透镜组件传播的方向。

7.一种光处理系统，其中，包括：

光源，用于发出光束；

准直系统，用于准直所述光源发出的光束；

如权利要求1至6中任一项所述的光反射装置；

反射镜，设置在所述准直系统准直后的光束的光路中，用于使得经过准直的光束射向所述光反射装置；以及

透镜组件，设置在所述光反射装置的反射元件反射光的光路中，用于对所述光反射装置的反射元件反射的光成像。

8.一种制造光反射装置的方法，其中，所述光反射装置包括光阑和成像部件，所述光阑具有用于使入射光射向所述成像部件的孔径，所述成像部件包括基底，在所述基底面向所述光阑的一侧设置有反射元件，用于将通过所述光阑的所述孔径接收的光反射向用于成像的透镜组件，

其特征在于，所述方法包括：

在所述光阑面向光入射的方向的一侧，在所述孔径之外的区域形成至少一个光阑微反射部件，用于将所述入射光束中照射在所述光阑微反射部件的光中的至少一部分偏离向所述透镜组件传播的方向。

9.根据权利要求8所述的方法，其中，形成至少一个光阑微反射部件的步骤包括：

在所述光阑面向光入射的方向的一侧，在所述孔径之外的区域形成至少一个第一反射面，所述第一反射面由第一预设母线沿第一预设方向延展形成。

10.一种成像部件，包括基底，在所述基底的一侧设置有反射元件，用于将从入射光束中接收的光反射向用于成像的透镜组件，

其特征在于，

在所述基底的所述一侧中除了设置所述反射元件的至少一部分处设置有至少一个微反射部件，用于将所述入射光束中照射在所述微反射部件的光中的至少一部分偏离向所述透镜组件传播的方向。