[发明专利]异常检测系统、异常检测装置和异常检测方法

说明书

本公开的实施例涉及异常检测系统、异常检测装置和异常检测方法。本发明的目的是提供一种能够容易地提取特定子过程的区间信号的技术。异常检测系统包括用于从监测信号中包括的复合序列中的多个子序列中提取特定子序列作为异常检测的对象的提取单元。提取单元通过动态时间归整方法根据复合序列和作为预先获取的复合序列的示例的参考序列来确定最佳归整路径。提取单元基于最佳归整路径以及参考序列的子序列的起点和终点来标识特定子序列的起点和终点。提取单元基于特定子序列的起点和终点来提取特定子序列。

相关申请的交叉引用

于2019年6月14日提交的日本专利申请No.2019-111283的公开内容(包括说明书、附图和摘要)通过引用整体并入本文。

背景技术

本公开涉及一种异常检测系统，并且可以应用于例如具有根据指示制造设备的处理状态的信号来检测检测目标信号的功能的异常检测系统。

近年来，随着第四次工业革命，在制造系统中，为了提高制造效率，诸如AI(人工智能)和IoT(物联网)等技术的利用正在不断发展。例如，利用这样的制造系统，可以通过各种传感器实时地监测制造设备的处理状态，并且可以基于监测结果来在早期检测制造设备中的异常。当检测异常时，例如，基于预先登记在存储设备中的检测算法来检测检测目标的异常。

例如，日本未审查专利申请公开第2018-180705号(专利文献1)示出了一种能够减少技术人员等的工作量的异常检测系统。在该异常检测系统中，目标信号选择单元根据通过信号输入单元接收的监测信号来确定检测目标区间(其是制造设备实际上在其中运行的区间)，并且提取该区间的信号作为检测目标信号。在此，监测信号是指示制造设备的处理状态的信号。具体地，例如，当监测信号在空闲区间中变为0V时，目标信号选择单元将检测目标区间确定为监测信号的电压电平为0.1V以上的区间。

发明内容

然而，即使例如制造设备执行由多个子步骤组成的在时间上连续的复合步骤序列，监测信号也是由与多个子步骤相对应的信号组成的复合步骤序列的信号序列。因此，难以设置用于提取特定子过程的信号区间的条件。根据本公开的描述和附图，其他目的和新颖特征将变得很清楚。

下面将简要描述本公开的典型方面。也就是说，异常检测系统包括从监测信号中包括的复合序列中的多个子序列中提取特定子序列作为异常检测的对象的提取单元。提取单元通过动态时间归整方法根据复合序列和作为预先获取的复合序列的示例的参考序列来确定最佳归整路径。提取单元基于最佳归整路径以及预先获取的参考序列的子序列的起点和终点来标识特定子序列的起点和终点。提取单元基于特定子序列的起点和终点来提取特定子序列。

根据异常检测系统，可以容易地提取特定子过程的区间信号。

附图说明

图1是示出监测信号的示例的图；

图2是示出根据一个实施例的异常检测系统的主要部分的配置的框图；

图3是示出两个序列之间的时间差的图；

图4是示出在图3中描述的两个序列中基于DTW的最佳归整路径的概念的图；

图5是示出由图2的异常检测系统处理的参考序列与复合序列之间的关系的图；

图6是示出其中图2的标识单元使用参考序列从复合序列中提取子序列的概念的图；

图7是示出第一实施例中的异常检测系统的配置的框图；

图8是示出图7的提取单元30和存储单元31的配置的框图；

图9是示出图8的调节单元中的复合序列的采样调节处理的概要的图；

图10是示出在图8的第一标识单元中使用下采样的复合序列来标识子序列的起始区域和终止区域的方法的图；