[发明专利]一种平行稳压芯片贴合机在审
申请号: | 202010401732.7 | 申请日: | 2020-05-13 |
公开(公告)号: | CN111477573A | 公开(公告)日: | 2020-07-31 |
发明(设计)人: | 朱小和 | 申请(专利权)人: | 苏州隆格尔精密自动化科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人: | 宫建华 |
地址: | 215200 江苏省苏州市吴江经济技术开发*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 平行 稳压 芯片 贴合 | ||
本发明公开了一种平行稳压芯片贴合机,包括用于移载治具的移载单元和用于贴合治具上元器件的贴合单元;所述移载单元包括具有两自由度的移载平台,所述移载平台上设置有可旋转的贴合平台和用于承载治具的升降平台,所述升降平台位于贴合平台的上方,所述贴合平台的底部各边角处设置有弹性件,底部中间位置设置有用于探测压力的传感器;所述贴合单元包括具有两自由度的音圈马达和用于定位的CCD,所述音圈马达的自由端设置有吸盘;所述治具至少具有一个通透的槽位。其能够以设定的间距和力度将两个元器件贴合到一起,贴合后元器件的平行度高,位置准确。
技术领域
本发明涉及贴合机,具体涉及一种平行稳压芯片贴合机。
背景技术
在电子产品中,通常需要将两个元器件贴合到一起,以实现固定和/或连通。对不同的元器件,其贴合的方式和要求不一样。芯片拥有密集的接触点阵列,这对贴合的压力、平行度、准确性具有极高的要求,稍有偏差则会造成短路、接触不良、压伤,甚至是芯片的损毁。尤其在特殊的芯片贴装工艺中,贴合胶内需要注入密集的球形颗粒,此时的空间更加狭小,一但出现丝毫偏差,球形颗粒之间、球形颗粒与接触点之间极容易产生碰撞,因而需要更加精确的控制贴合压力和平行度,保证偏差在一定公差范围内。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种平行稳压芯片贴合机,其能够以设定的间距和力度将两个元器件贴合到一起,贴合后元器件的平行度高,位置准确。
为了解决上述技术问题,本发明提供了一种平行稳压芯片贴合机,包括用于移载治具的移载单元和用于贴合治具上元器件的贴合单元;所述移载单元包括具有两自由度的移载平台,所述移载平台上设置有可旋转的贴合平台和用于承载治具的升降平台,所述升降平台位于贴合平台的上方,所述贴合平台的底部各边角处设置有弹性件,底部中间位置设置有用于探测压力的传感器;所述贴合单元包括具有两自由度的音圈马达和用于定位的CCD,所述音圈马达的自由端设置有吸盘;所述治具至少具有一个通透的槽位。
作为优选的,包括旋转驱动源和贴合平台组件,所述旋转驱动源设置在移载平台上,所述贴合平台组件包括设置在旋转驱动源自由端的凹腔,所述传感器设置在凹腔的底部,所述贴合平台滑动设置在凹腔内,所述弹性件位于贴合平台的底部和凹腔的底部之间。
作为优选的,所述贴合平台的侧边处设置有凸缘,所述凸缘滑动设置在凹腔内,所述凹腔的顶部盖设有固定板,所述固定板上开设有通孔,至少一部分所述贴合平台经由通孔伸出固定板。
作为优选的,所述贴合平台的顶部开设有的气孔。
作为优选的,所述移载平台上设置有预调驱动源,所述预调驱动源的自由端设置有预调平台。
作为优选的,所述贴合单元包括预定位CCD和对位CCD。
作为优选的,包括能够伸入到贴合的元器件侧面的固化光源。
作为优选的,包括架设在移载单元上方且互为镜像的两条输送边框,所述输送边框相对的面上设置有输送轮,所述输送边框上开设有供升降平台通过的缺口。
作为优选的,所述缺口处的输送边框上设置有挡块。
作为优选的,所述移载平台上设置有读码器。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:
1、本发明能够将成套的元器件以设定的间距自动贴合到一起,贴合位置准确,效率高。
2、本发明通过在贴合平台的各边角处设置弹性件,能够在贴合时,上下两个元器件之间的平行度,贴合完成后两个元器件相对的面保持高度的平行,提高了其可靠性。
3、本发明通过在贴合平台的底部设置传感器,以及使用音圈马达驱动吸盘,能够极其精确的控制贴合的力度,避免压伤或使元器件的距离过近。
附图说明
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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