[发明专利]一种对准图像获取方法、装置及系统

权利要求书

1.一种对准图像获取方法，其特征在于，包括：

利用红外光源向具有不透光膜层的第一待对准晶圆发射红外信号；所述第一待对准晶圆中形成有对准标记；

利用红外摄像头接收经所述第一待对准晶圆反射的红外信号，以形成所述第一待对准晶圆的第一拍摄图像，所述第一拍摄图像显示有所述对准标记的位置信息；所述第一拍摄图像用于直接实现所述第一待对准晶圆的对准；

利用可见光光源向均为透光膜层的第二待对准晶圆发射可见光信号；

利用可见光摄像头接收所述第二待对准晶圆反射的可见光信号，以形成所述第二待对准晶圆的第二拍摄图像；

基于所述第二拍摄图像实现所述第二待对准晶圆的对准。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述不透光膜层的材料包括无定形碳、单晶硅、碳化硅、氮化硅的至少一种。

3.根据权利要求1-2任意一项所述的方法，其特征在于，所述第一待对准晶圆和所述第二待对准晶圆包括衬底及其上的待测膜层，所述衬底中形成有对准标记，则在实现所述第一待对准晶圆和所述第二待对准晶圆的对准后，所述方法还包括：

利用可见光摄像头接收所述第一待对准晶圆和所述第二待对准晶圆的红外信号，以形成所述待测膜层的检测数据，所述检测数据体现所述待测膜层的厚度信息。

4.一种对准图像获取装置，其特征在于，包括：红外光源、红外摄像头、可见光光源和可见光摄像头；

所述红外光源，用于向具有不透光膜层的第一待对准晶圆发射红外信号；所述第一待对准晶圆中形成有对准标记；

所述红外摄像头，用于接收经所述第一待对准晶圆反射的红外信号，以形成所述第一待对准晶圆的第一拍摄图像，所述第一拍摄图像显示有所述对准标记的位置信息；所述第一拍摄图像用于直接实现所述第一待对准晶圆的对准；

可见光光源，用于向均为透光膜层的第二待对准晶圆发射可见光信号；

可见光摄像头，用于接收所述第二待对准晶圆反射的可见光信号，以形成所述第二待对准晶圆的第二拍摄图像；基于所述第二拍摄图像实现所述第二待对准晶圆的对准。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述第一待对准晶圆和所述第二待对准晶圆包括衬底及其上的待测膜层，所述衬底中形成有对准标记，则所述可见光摄像头还用于：

在实现所述第一待对准晶圆和所述第二待对准晶圆的对准后，接收所述第一待对准晶圆和所述第二待对准晶圆的红外信号，以形成所述待测膜层的检测数据，所述检测数据体现所述待测膜层的厚度信息。

6.一种对准图像获取系统，其特征在于，包括对准控制器和如权利要求4-5任意一项所述的对准图像获取装置，所述对准控制器用于执行如权利要求1-3任意一项所述的对准图像获取方法。