[发明专利]一种柔性传感器及其制备方法

说明书

本发明公开一种柔性传感器及其制备方法，涉及柔性传感器领域，以解决柔性传感器形变不够、灵敏度低和一致性低的问题。所述柔性传感器包括：柔性基底以及形成在所述柔性基底上的纳米线阵列；所述纳米线阵列为聚二甲基硅氧烷转移法转移的纳米线阵列。所述柔性传感器制备方法包括上述技术方案所提的。本发明提供的柔性传感器用于检测信号。

技术领域

本发明涉及柔性传感器领域，尤其涉及一种柔性传感器及其制备方法。

背景技术

柔性传感器结构形式灵活多样，可根据测量条件的要求任意布置，相对于传统传感器，解决了小型化、集成化、智能化发展问题。柔性传感器可以应用于人工智能穿戴、医疗监测设备上，连续监测人体脉搏、心电图、呼吸、温度等生理信息，进而调整用户的运动方式，或者指导用户对疾病的防治。

在使用过程中，柔性传感器还存在如下的问题：形变不够，灵敏度低不能够区分多种环境刺激以及各种机械部件，一致性也比较差。现有解决这些问题的技术方法是选择延展性好的材料，例如：石墨烯、碳纳米管和硅纳米线等。但是，只通过将如上材料应用于柔性传感器来提高形变度、灵敏度和一致性，效果非常有限。

发明内容

本发明的目的在于提供一种柔性传感器及其制备方法，用于提高柔性传感器的形变度、灵敏度和一致性。

第一方面，本发明提供一种柔性传感器。所述柔性传感器包括：

柔性基底以及形成在所述柔性基底上的纳米线阵列；

所述纳米线阵列为聚二甲基硅氧烷转移法转移的纳米线阵列。

与现有技术相比，本发明提供的柔性传感器包括形成在柔性基底上的纳米线阵列。该纳米线阵列含有排列整齐有序的多个纳米线，使在制备包含纳米线阵列的柔性传感器或进行信号采集时，所采集的信号具有较高的一致性，从而提高柔性传感器的性能。并且，由于纳米线阵列的尺寸小，具有较大的比表面积，因此，本发明提供的柔性传感器不仅具有较高的灵敏度，其中的纳米线阵列对柔性基底的柔性影响程度比较低，使得柔性传感器具有较高的形变度，可以满足多种柔性应用场景的数据采集功能。

另外，本发明提供的柔性传感器中，该纳米线阵列为聚二甲基硅氧烷转移法转移的纳米线阵列。根据聚二甲基硅氧烷与纳米线阵列之间黏粘性和高温下易脱落特性，可使转移在柔性衬底上的纳米线阵列保持更加良好的形貌，进而柔性传感器采用规整的纳米线阵列所采集到的信号更加精准。

第二方面，本发明还提供一种柔性传感器的制备方法，所述柔性传感器的制备方法包括：

提供包含纳米线阵列的第一基底；

利用聚二甲基硅氧烷转移法转移所述第一基底包含的纳米线阵列到第二基底上，所述第二基底为柔性基底。

与现有技术相比，本发明提供的柔性传感器的制备方法的有益效果与上述技术方案所述柔性传感器的有益效果相同，此处不做赘述。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1为本发明实施例提供的柔性传感器的简化结构示意图；

图2为图1中A-A’的剖面图；

图3为本发明实施例提供的柔性传感器的具体结构示意图；

图4为本发明实施例提供的柔性传感器的制备方法的流程示意图；

图5为本发明实施例中包含纳米线阵列的第一基底的结构示意图；

图6为本发明实施例中制作包含纳米线阵列的第一基底的过程状态图一；