[发明专利]高压气体采样试验装置及采样试验方法在审
申请号: | 202010404156.1 | 申请日: | 2020-05-13 |
公开(公告)号: | CN111665292A | 公开(公告)日: | 2020-09-15 |
发明(设计)人: | 罗艳;吴晓斌;王魁波;谢婉露;李慧 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G01N27/62 | 分类号: | G01N27/62;G01N1/24;F17D3/10;F17D3/01;F17D1/065 |
代理公司: | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人: | 付婧 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 高压 气体 采样 试验装置 试验 方法 | ||
1.一种高压气体采样试验装置,其特征在于,包括:
真空过渡组件,用于减压获取一定气压的待测高压气体;
真空测量组件,用于测量所述待测高压气体的气体组成;
采样通道组件,用于连接所述真空过渡组件和/或真空测量组件;其中,所述采样通道组件包括并联的以下采样通道支路中的至少两种:小孔采样通道支路、毛细管采样通道支路以及采样阀通道支路。
2.根据权利要求1所述的高压气体采样试验装置,其特征在于,所述真空过渡组件包括过渡腔室、真空计及真空过渡泵组;所述过渡腔室前端直接减压获取或者连接所述采样通道组件后减压获取待测高压气体,所述过渡腔室后端连接采样通道组件或者真空测量组件;所述过渡腔室连接真空计及真空过渡泵组。
3.根据权利要求1所述的高压气体采样试验装置,其特征在于,所述真空测量组件包括质谱腔室、真空计、质谱仪及真空测量泵组;所述质谱腔室前端直接获取或者连接所述采样通道组件后获取一定气压的待测真空,所述质谱腔室连接真空计、质谱仪及真空测量泵组。
4.根据权利要求1所述的高压气体采样试验装置,其特征在于,所述真空过渡泵组及真空测量泵组均包括分子泵和机械泵。
5.根据权利要求1所述的高压气体采样试验装置,其特征在于,所述采样通道支路包括采样通道和截止阀。
6.根据权利要求5所述的高压气体采样试验装置,其特征在于,所述采样通道支路的截止阀设置于所述采样通道的一端或两端。
7.根据权利要求5所述的高压气体采样试验装置,其特征在于,所述采样通道可拆卸安装于所述采样通道支路上。
8.根据权利要求1所述的高压气体采样试验装置,其特征在于,还包括微调阀,所述微调阀设置于所述真空测量组件与真空过渡组件之间的通道上,或设置于所述真空过渡组件减压获取待测高压气体的通路上。
9.一种高压气体采样试验方法,其特征在于,具体以下步骤:
减压获取一定气压的待测高压气体;
测量所述待测高压气体的气体组成;
通过采样通道组件获取待测高压气体,和/或通过采样通道组件获取一定气压的待测高压气体;其中,所述采样通道组件包括并联的以下采样通道支路中的至少两种:小孔采样通道支路、毛细管采样通道支路以及采样阀通道支路。
10.根据权利要求9所述的高压气体采样试验方法,其特征在于,所述采样通道支路包括采样通道和截止阀。
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