[发明专利]通过在安装电子部件之后将片材分成载体而进行的封装的批量制造在审
申请号: | 202010406422.4 | 申请日: | 2020-05-14 |
公开(公告)号: | CN111952191A | 公开(公告)日: | 2020-11-17 |
发明(设计)人: | T·迈尔;T·贝伦斯;A·格拉斯曼;M·格鲁贝尔;T·沙夫 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L23/31;H01L23/495 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 刘炳胜 |
地址: | 德国瑙伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 通过 安装 电子 部件 之后 将片材 分成 载体 进行 封装 批量 制造 | ||
1.一种制造封装(100)的方法,其中,所述方法包括:
提供至少在安装区(103)中连续的导电的片材(102);
将多个电子部件(104)的第一主表面安装在所述片材(102)的所述连续的安装区(103)上;
形成用于使所述电子部件(104)的第二主表面与所述片材(102)电耦合的互连结构(106),其中,所述第二主表面与所述第一主表面相对;以及
在所述形成之后,对所述片材(102)进行结构化。
2.根据权利要求1所述的方法,其中,所述方法包括在所述结构化之前,通过包封物(108)至少部分地包封所述电子部件(104)和所述互连结构(106)。
3.根据权利要求1或2所述的方法,其中,所述方法包括对所述片材(102)进行结构化,由此形成用于每一封装(100)的各个载体(110)。
4.根据权利要求3所述的方法,其中,所述方法包括将在对所述片材(102)进行结构化之后获得的结构分成单独的封装(100),所述单独的封装(100)均至少包括所述载体(110)之一、所述电子部件(104)的至少其中之一以及所述互连结构(106)的至少其中之一。
5.根据权利要求1到4中的任何一项所述的方法,其中,所述方法包括对所述片材(102)进行结构化,由此形成引线框架结构(121)。
6.根据权利要求1到5中的任何一项所述的方法,其中,所述方法包括在所述片材(102)中形成盲孔(118),以及随后将所述电子部件(104)安装在所述盲孔(118)中。
7.根据权利要求1到6中的任何一项所述的方法,其中,所述方法包括使所述片材(102)的至少部分与成型结构(120)连接,以及随后使用所述成型结构(120)作为掩模对所述片材(102)的至少部分进行结构化。
8.根据权利要求1到7中的任何一项所述的方法,其中,所述片材(102)具有处于30μm和3mm之间的范围内的厚度,特别是具有处于200μm和500μm之间的范围内的厚度。
9.一种制造封装(100)的方法,其中,所述方法包括:
提供导电的基本连续的片材(102);
将在操作期间具有垂直电流流动的多个电子部件(104)安装在所述片材(102)上;
通过包封物(108)至少部分地包封所述电子部件(104);
在所述包封之后,从所述片材(102)的未包封的背面对所述片材(102)进行图案化,由此形成用于每一封装(100)的各个载体(110)。
10.根据权利要求9所述的方法,其中,所述方法包括在图案化之前,并且特别是在至少部分地包封所述电子部件(104)之前,形成用于使所述电子部件(104)的上主表面与所述片材(102)电耦合的互连结构(106),所述电子部件(104)的下主表面安装于所述片材(102)上。
11.根据权利要求9或10所述的方法,其中,所述方法包括将在对所述片材(102)进行图案化之后获得的结构单个化成单独的封装(100),所述单独的封装(100)均至少包括所述载体(110)之一、所述电子部件(104)的至少其中之一以及所述包封物(108)的部分。
12.根据权利要求11所述的方法,其中,所述方法包括通过去除所述包封物(108)的材料而不去除所述片材(102)的材料来对所述结构进行单个化。
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