[发明专利]移动机构及其形成方法、驱动方法、电子设备和成像装置

说明书

一种移动机构及其形成方法、驱动方法、电子设备和成像装置，移动机构包括：固定平台，设有横向和纵向；横向驱动电极，位于固定平台上；横向可动电极，相对于横向驱动电极横向排布，和横向可动电极能够静电吸合；第一纵向驱动电极，位于固定平台上；纵向可动电极，相对于第一纵向驱动电极纵向排布，和纵向可动电极能够静电吸合，横向可动电极与纵向可动电极相连接；导线，一端固定，另一端与横向可动电极或纵向可动电极固定电性连接；可移动平台，有第一接合部；第二接合部，在纵向上与第一接合部相对设置，第二接合部与横向可动电极或纵向可动电极固定连接；第一接合部与第二接合部能够分离或接合。本发明移动机构的移动精度高。

技术领域

本发明实施例涉及半导体制造领域，尤其涉及一种移动机构及其形成方法、驱动方法、电子设备和成像装置。

背景技术

在一些电子终端中，通常会需要让其中的某些部件发生平移、竖直移动或者倾斜，进而实现某些特殊功能，例如：实现光学防抖(Optical image stabilization，OIS)、超分辨(Super-Resolution，SR)。

光学防抖是依靠特殊的镜头或者感光元件最大程度的降低操作者在使用过程中由于抖动或者物体发生移动造成影像不稳定。目前一种光学防抖技术通常是在镜头内的陀螺仪侦测到微小的移动，并且会将信号传至微处理器立即计算需要补偿的位移量，然后通过补偿镜片组，根据抖动方向及位移量加以补偿，从而有效的克服因相机的振动产生的影像模糊。

还有一些光学防抖技术是在一些具有镜头模组的摄像机、照相机和手机等各种电子终端中，通常会通过VCM马达(Voice Coil Actuator/Voice Coil Motor，音圈马达)等驱动机构来使得可移动透镜，在光轴方向上位移以聚焦或变焦，或者，在垂直于光轴方向的方向上位移以防止光学抖动。

图像超分辨率重建技术是利用一组低质量、低分辨率图像(或运动序列)来产生单幅高质量、高分辨率的图像。图像超分辨率重建应用领域及其宽广，在军事、医学、公共安全、计算机视觉等方面都存在着重要的应用前景。在计算机视觉领域，图像超分辨率重建技术有可能使图像实现从检出水平向识别水平的转化，或更进一步实现向细辨水平的转化。

发明内容

本发明实施例解决的问题是提供一种移动机构及其形成方法、驱动方法、电子设备和成像装置，提高移动机构的移动精度。

为解决上述问题，本发明实施例提供一种移动机构，包括：固定平台，与所述固定平台的表面相平行的方向为横向，与所述固定平台的表面相垂直的方向为纵向；横向驱动电极，位于所述固定平台上；横向可动电极，相对于所述横向驱动电极横向排布且具有第一预设间距，所述横向驱动电极和所述横向可动电极能够静电吸合；第一纵向驱动电极，位于所述固定平台上；纵向可动电极，相对于所述第一纵向驱动电极纵向排布，所述第一纵向驱动电极和所述纵向可动电极能够静电吸合，其中，所述横向可动电极与所述纵向可动电极相连接；导线，所述导线的一端固定，另一端与所述横向可动电极或所述纵向可动电极固定电性连接，且支撑所述横向可动电极和所述纵向可动电极能够处于悬空状态；可移动平台，用于支撑被移动部件，所述可移动平台具有第一接合部；第二接合部，在所述纵向上与所述第一接合部相对设置，所述第二接合部与所述横向可动电极或所述纵向可动电极固定连接；其中，所述第一接合部与所述第二接合部能够分离或接合。