[发明专利]电容器电极铝箔表面粗化的生产设备和工艺

权利要求书

1.一种电容器电极铝箔表面粗化的生产设备，其特征在于：包括真空腔体(1)、真空泵组(2)、第一面矩形电弧离子靶(3)、第二面矩形电弧离子靶(4)、氩气供气装置(5)、放料装置、收料装置、第一面冷却主辊(6)、第二面冷却主辊(7)、冷却系统和控制系统，所述真空泵组能够给真空腔体抽真空，第一面冷却主辊和第二面冷却主辊能够同步转动的安装于真空腔体内，第一面冷却主辊和第二面冷却主辊内形成有冷却通道，放料装置和收料装置分别安装于真空腔体内，从放料装置上引出的铝箔(8)顺序绕经第一面冷却主辊和第二面冷却主辊表面后由收料装置进行收料，且铝箔一侧表面与第一面冷却主辊接触，铝箔另一侧表面与第二面冷却主辊接触的表面，第一面电弧离子靶与第一面冷却主辊表面的铝箔正对，第二面电弧离子靶与第二面冷却主辊表面的铝箔正对，第一面电弧离子靶和第二面电弧离子靶分别能够在铝箔表面沉积大粒子铝，冷却系统能够给第一面冷却主辊、第二面冷却主辊、第一面电弧离子靶、第二面电弧离子靶和真空泵组提供冷却液，氩气供气装置能够给真空腔体内提供氩气，控制系统控制真空泵组、第一面电弧离子靶、第二面电弧离子靶、氩气供气装置、放料装置、收料装置、第一面冷却主辊、第二面冷却主辊和冷却系统运行。

2.根据权利要求1所述的电容器电极铝箔表面粗化的生产设备，其特征在于：还设有第一面离子源(9)和第二面离子源(10)，第一面离子源与第一面冷却主辊表面的铝箔正对，且第一面离子源与第一面电弧离子靶沿铝箔输送方向顺序排列，第二面离子源与第二面冷却主辊表面的铝箔正对，且第二面离子源与第二面电弧离子靶沿铝箔输送方向顺序排列，第一面离子源和第二面离子源分别能够对铝箔表面进行电离子轰击清洗，冷却系统能够对第一面离子源和第二面离子源提供冷却液。

3.根据权利要求2所述的电容器电极铝箔表面粗化的生产设备，其特征在于：还设有水冷隔板(16)，所述水冷隔板固定安装于真空腔体内，水冷隔板与真空腔体相对的内侧壁分别围成第一电弧离子靶安装室(11)和第二电弧离子靶安装室(12)，第一面电弧离子靶和第二面电弧离子靶分别固定安装于第一电弧离子靶安装室和第二电弧离子靶安装室内，第一面冷却主辊和第二面冷却主辊包覆铝箔的部分圆周外侧表面分别经所述缺口部伸入第一电弧离子靶安装室和第二电弧离子靶安装室内，第一面离子源和第二面离子源分别位于第一电弧离子靶安装室和第二电弧离子靶安装室外侧，两个氩气供气装置分别给第一电弧离子靶安装室和第二电弧离子靶安装室内提供氩气。

4.根据权利要求1所述的电容器电极铝箔表面粗化的生产设备，其特征在于：所述第一面冷却主辊和第二面冷却主辊内侧形成夹层结构的冷却通道，冷却通道通过冷热交换机与冷却系统连通。

5.根据权利要求1所述的电容器电极铝箔表面粗化的生产设备，其特征在于：还设有冷却主辊驱动装置，冷却主辊驱动装置分别驱动第一面冷却主辊和第二面冷却主辊同步转动。

6.根据权利要求1所述的电容器电极铝箔表面粗化的生产设备，其特征在于：所述放料装置包括放卷辊(14)和放卷驱动装置，收料装置包括收卷辊(15)和收卷驱动装置，所述放卷驱动装置和收卷驱动装置分别驱动放卷辊和收卷辊转动，还设有铝箔张力传感器，铝箔张力传感器能够感应铝箔张力并传信于控制系统，控制系统控制放卷驱动装置和收卷驱动装置动作。

7.根据权利要求1所述的电容器电极铝箔表面粗化的生产设备，其特征在于：还设有若干辅助辊(13)，第一面冷却主辊和第二面冷却主辊两侧分别设有至少一个辅助辊，进入和离开第一面冷却主辊和第二面冷却主辊的铝箔经辅助辊改向输送。

8.根据权利要求1所述的电容器电极铝箔表面粗化的生产设备，其特征在于：还设有底座和滑动门，真空腔体固定安装于底座上，所述真空腔体一端设有进口，滑动门能够滑动的安装于底座上，滑动门能够密封封闭或打开真空腔体的进口。