[发明专利]一种靶材装置及其制作方法在审
| 申请号： | 202010408391.6 | 申请日： | 2020-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN111575662A | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 胡小波 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 唐秀萍 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 装置 及其 制作方法 | ||
1.一种靶材装置，其特征在于，包括靶材本体、背板、以及位于所述靶材本体和所述背板之间的绑定层；所述背板内设有多个冷却管路；
所述绑定层中掺杂有导热颗粒。
2.如权利要求1所述的靶材装置，其特征在于，所述绑定层的材料包括金属铟。
3.如权利要求1所述的靶材装置，其特征在于，所述导热颗粒包括石墨烯纳米颗粒。
4.如权利要求3所述的靶材装置，其特征在于，所述石墨烯纳米颗粒的直径小于1微米。
5.如权利要求1所述的靶材装置，其特征在于，所述绑定层的厚度范围为10微米至1000微米。
6.如权利要求1所述的靶材装置，其特征在于，所述靶材本体包括陶瓷靶材。
7.一种靶材装置的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：
提供背板，所述背板内设有多个冷却管路；
在所述背板上覆盖掺杂有导热颗粒的绑定层；
在所述绑定层远离所述背板的一侧设置靶材本体。
8.如权利要求1所述的靶材装置的制作方法，其特征在于，所述在所述背板上覆盖掺杂有导热颗粒的绑定层，包括以下步骤：
将绑定材料熔融；
将导热颗粒均匀的分散在熔融的所述绑定材料中；以及
将分散有所述导热颗粒的熔融的绑定材料覆盖在所述背板上，形成绑定层。
9.如权利要求8所述的靶材装置的制作方法，其特征在于，所述绑定材料包括金属铟。
10.如权利要求8所述的靶材装置的制作方法，其特征在于，所述导热颗粒包括石墨烯纳米颗粒。
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