[发明专利]一种粒子束显微镜的样品除污方法

权利要求书

1.一种粒子束显微镜的样品除污方法，包括：仓体(21)、位于仓体(21)外部进样口一侧下方的送样装置(1)、位于进样口外部上端水平设置的除静电吹扫装置(3)、位于仓体内部顶端的高压电极(8)、位于仓体(21)外部出样口一侧的等离子清洗装置(10)；还包含以下步骤：

步骤一：接通电源后，送样装置(1)开始向预抽室(2)送样，除静电吹扫装置(3)上的排气口(4)向下排出气流，射至样品(5)表面，气流中的离子(6)与样品表面吸附的微粒(7)所带电荷发生中和，使微粒失去静电吸引力后被所述气流带走，以及所述预抽室(2)内的高压电极(8)启动，产生一个高压静电场，部分微粒(7)在高压静电场的作用下发生静电感应作用吸到所述高压电极(8)上，所述送样装置(1)将样品(5)完全送入所述预抽室(2)后，所述除静电吹扫装置(3)停止吹扫，所述预抽室(2)的仓门关闭，所述高压电极(8)保持一个恒定电压；

步骤二：启动抽真空装置(9)将所述预抽室(2)抽真空，当所述预抽室(2)内的大气压达到一个预定值之后，所述等离子清洗装置(10)开始向所述预抽室(2)注入等离子气体，与样品表面的有机物分子发生活化反应，生成气体分子，被所述抽真空装置(9)带走，以及逐渐调低所述高压电极(8)上的电压值至0，使吸附在电极上的微粒下落被所述抽真空装置(9)带走，所述等离子清洗装置(10)持续工作一定时间后停止；

步骤三：同时，逐渐调高所述高压电极(8)上的电压，所述送样装置(1)将样品(5)从所述预抽室(2)送至主抽室后，关闭所述高压电极(8)，完成除污过程；

其特征在于，所述除静电吹扫装置(3)的下端设有多个排气口(4)，且所述排气口(4)排出的气流为交变气流，气流中交替带有正离子、负离子。

2.如权利要求1所述的一种粒子束显微镜的样品除污方法，其特征在于，所述除静电吹扫装置(3)的排气口(4)距离样品(5)表面的垂直距离为50-100mm。

3.如权利要求1所述的一种粒子束显微镜的样品除污方法，其特征在于，所述除静电吹扫装置(3)上的电压为5-10KV的交变电压，频率10-80Hz。

4.如权利要求1所述的一种粒子束显微镜的样品除污方法，其特征在于，所述除静电吹扫装置(3)的供气气压为2-5个大气压。

5.如权利要求1所述的一种粒子束显微镜的样品除污方法，其特征在于，所述预抽室(2)内的大气压等于或低于10^-4Torr时，所述等离子清洗装置(10)启动，向预抽室注入等离子气体。

6.如权利要求1所述的一种粒子束显微镜的样品除污方法，其特征在于，所述等离子清洗装置(10)的工作时长为1-3分钟。

7.如权利要求1所述的一种粒子束显微镜的样品除污方法，其特征在于，所述等离子清洗装置(10)工作时的压强为10^-3Torr至10^-1Torr。

8.如权利要求1所述的一种粒子束显微镜的样品除污方法，其特征在于，所述送样装置(1)将样品(5)由所述预抽室(2)送至主抽室的过程中，所述高压电极(8)上的电压为5-25kv，且所述高压电极(8)的形状为一个环状矩形。

9.如权利要求1所述的一种粒子束显微镜的样品除污方法，其特征在于，所述排气口(4)的口内设有针状体尖端(11)，所述针状体尖端(11)通交变高压后，因电晕放电可以使附近的空气分子解离，间歇生成带有正、负电荷的离子。

10.如权利要求1所述的一种粒子束显微镜的样品除污方法，其特征在于，所述排气口(4)下端口距离样品(5)表面的垂直距离为50mm-100mm。