[发明专利]XXY对位平台检验方法

说明书

本发明提供了一种XXY对位平台检验方法，该XXY对位平台是设置于一视觉对位系统下方，且该XXY对位平台上设置一检验片，并经由视觉对位系统的电子摄影机记录该检验片随着该XXY对位平台位移状态的影像，再利用视觉对位系统内建的检测软件进行分析、比对，以取得该XXY对位平台位移数值是否落于精度等级范围内，借此通过非接触式的视觉对位系统进行XXY对位平台的检测，不仅具有X轴向及Y轴向的位移检测外，更能取得斜向位移的检测数据，且相较接触式检验方式更能有效避免不可预期的误差情况产生，有助于提升该XXY对位平台的检验精度，兼具实用性的增进。

技术领域

本发明是关于一种位移平台的检验方法，尤其是指一种XXY对位平台检验方法。

背景技术

一般对位平台的检验方式，其是通过将测试顶座设置于该对位平台的X轴及Y轴方向，借以操控该对位平台X轴向位移及Y轴向位移，进而触碰该顶座来进行测试；然而，此类检测对位平台的配置方式仅能进行X轴及Y轴的移动检测，对于目前已研发可斜向位移的对位平台而言，仅有X轴及Y轴的检测显然是不足以精准地达到对位平台检测的效果，而且以接触方式所进行的检测，更会因接触产生的推顶阻力而具有偏差值，无法准确及有效地进行检测，亟需改善的必要。

有鉴于此，本发明人于多年从事相关产品的制造开发与设计经验，针对上述的目标，详加设计与审慎评估后，终得一确具实用性的本发明。

发明内容

本发明所欲解决的技术问题在于针对现有技术存在的上述缺失，提供一种XXY对位平台检验方法。

该XXY对位平台检验方法包含一视觉对位系统，该视觉对位系统包括一电子摄影机，用以记录一检验片的影像，并经由该视觉对位系统内的一检测软件，进行该影像的误差值的分析、比对且予以记录；一XXY对位平台，设置于该视觉对位系统的电子摄影机下方，该XXY对位平台承载该检验片，该检验片保持在该电子摄影机的视野中，并通过该电子摄影机取得该检验片的中心点，再控制该XXY对位平台行进位移至少四单点方向，该XXY对位平台位移时皆以该检验片的中心点为起点，并以该检验片的中心点为终点依序进行各该单点方向的往复位移，且于各该单点方向皆等距位移并至少来回位移五次，进而以该检验片的初始中心点的位置值与各该单点方向第一次移动的位置值作为基准值，并将该XXY对位平台每次位移至各该单点方向的位置值以及回归该中心点的位置值作为检测值，经由该电子摄影机记录后交由该检测软件分析、比对各该单点方向的基准值与检测值间的误差，进而计算出该XXY对位平台的位移精度。

较佳地，该至少四单点方向包括前方、后方、左侧方以及右侧方的X、Y方向。

较佳地，该XXY对位平台行进八该单点方向，除了前述X、Y方向外，更具有左前方、左后方、右前方、右后方的四个斜角方向。

较佳地，该检验片具有一可明确辨识形状的标靶。

较佳地，该检验片具有一矩形标靶，该矩形标靶是尺寸为边长0.5mm的正方形标靶区块。

对照先前技术的功效：该XXY对位平台上设置一检验片，并经由视觉对位系统的电子摄影机记录该检验片随着该XXY对位平台位移状态的影像，再利用视觉对位系统内建的检测软件进行分析、比对，以取得该XXY对位平台位移数值是否落于精度等级范围内，借此通过非接触式的视觉对位系统进行XXY对位平台的检测，不仅具有X轴向及Y轴向的位移检测外，更能取得斜向位移的检测数据，且相较接触式检验方式更能有效避免不可预期的误差情况产生，有助于提升该XXY对位平台的检验精度，兼具实用性的增进。

附图说明

图1为本发明的检验方法流程方块图。

图2为本发明的设置状态示意图。

图3为本发明的XXY对位平台位移八单点方向的示意图。

图4为本发明的XXY对位平台于P0及P1间位移的示意图。