[发明专利]晶圆键合设备及检测方法

权利要求书

1.一种晶圆键合设备，其特征在于，包括：

相对设置的第一卡盘和第二卡盘，所述第一卡盘用于固定第一晶圆，所述第二卡盘用于固定第二晶圆；

位于所述第一卡盘上的至少三个检测元件，所述检测元件用于检测该检测元件所在位置处所述第一卡盘和所述第二卡盘之间的距离，其中，所述至少三个检测元件不全在同一直线上；

至少三个调节元件，所述调节元件与所述检测元件一一对应，用于调节所述调节元件所在位置处，第一卡盘和所述第二卡盘之间的距离，以调节所述第一卡盘和所述第二卡盘的平行度。

2.根据权利要求1所述的晶圆键合设备，其特征在于，所述检测元件位于所述第一卡盘朝向所述第二卡盘一侧的表面，所述调节元件位于所述第一卡盘背离所述第二卡盘一侧的表面。

3.根据权利要求2所述的晶圆键合设备，其特征在于，所述第一卡盘包括第一部分和第二部分，所述第一部分用于放置第一晶圆，所述第二部分用于设置检测元件，其中，所述第一部分和所述第二部分不交叠。

4.根据权利要求2所述的晶圆检测设备，其特征在于，所述检测元件为精密型激光位移传感器。

5.根据权利要求2所述的晶圆键合设备，其特征在于，所述调节元件为马达。

6.根据权利要求2所述的晶圆键合设备，其特征在于，所述第一卡盘为下卡盘。

7.根据权利要求1-6任一项所述的晶圆键合设备，其特征在于，还包括：

控制元件，所述控制元件用于基于所述检测元件的检测结果，控制所述调节元件，调节所述调节元件所在位置处，所述第一卡盘和所述第二卡盘之间的距离。

8.一种检测方法，其特征在于，应用于权利要求1-7任一项所述的晶圆键合设备，该方法包括：

利用至少三个检测元件检测各所述检测元件所在位置处，所述第一卡盘和所述第二卡盘之间的距离；

如果所述至少三个检测元件中各所述检测元件所在位置处，所述第一卡盘和所述第二卡盘之间的距离满足预设条件，则维持所述第一卡盘和所述第二卡盘的当前位置；

如果所述至少三个检测元件中各所述检测元件所在位置处，所述第一卡盘和所述第二卡盘之间的距离不满足预设条件，则利用所述至少三个调节元件调节所述第一卡盘和所述第二卡盘之间的距离，直至所述至少三个检测元件中各所述检测元件所在位置处，所述第一卡盘和所述第二卡盘之间的距离满足预设条件。

9.根据权利要求8所述的检测方法，其特征在于，所述预设条件为各所述检测元件所在位置处，所述第一卡盘和所述第二卡盘之间的距离相同。

10.根据权利要求8所述的检测方法，其特征在于，所述预设条件为各所述检测元件所在位置处，所述第一卡盘和所述第二卡盘之间的距离与预先存储的各所述检测元件所在位置处，所述第一卡盘和所述第二卡盘之间的距离相同。