[发明专利]一种多光束加工装置及加工方法

权利要求书

1.一种多光束加工装置，用于多层材料的加工，包括控制系统，其特征在于，还包括：

与所述控制系统连接的脉冲激光器，用于产生脉冲激光束，所述脉冲激光束包括第一脉冲激光束及第二脉冲激光束；

合束器，设置在所述脉冲激光器的出光路径上，用于将所述第一脉冲激光束与所述第二脉冲激光束引导至相同的光路径上。

2.如权利要求1所述的多光束加工装置，其特征在于，所述脉冲激光器包括第一脉冲激光器、第二脉冲激光器，在所述第一脉冲激光器与所述合束器之间的所述出光路径上，依次设置有第一光束准直器及第一反射镜，在所述第二脉冲激光器与所述合束器之间的所述出光路径上设置有第二光束准直器。

3.如权利要求2所述的多光束加工装置，其特征在于，还包括：

激光加工部，与所述控制系统连接，用于将经过所述合束器的脉冲激光束引导至多层材料上的待加工位置。

4.如权利要求2所述的多光束加工装置，其特征在于，还包括与所述控制器连接的样品台，所述样品台用于放置多层材料。

5.如权利要求4所述的多光束加工装置，其特征在于，所述控制系统包括，第一控制器及与所述第一控制器通信连接的第二控制器，所述第一控制器分别与所述脉冲激光器及所述激光加工部连接；所述第二控制器分别与所述激光加工部及所述样品台连接，用于控制所述激光加工部在竖直方向上的运动及控制所述样品台在水平方向上的运动。

6.如权利要求3所述的多光束加工装置，其特征在于，所述合束器与所述激光加工部之间还设置有多个反射镜，用于将通过所述合束器的脉冲激光束引导至所述激光加工部。

7.一种多光束加工方法，其特征在于，包括：

控制脉冲激光器产生第一脉冲激光束和第二脉冲激光束，将所述第一脉冲激光束和所述第二脉冲激光束引导至多层材料的待加工位置；

利用所述第一脉冲激光束和所述第二脉冲激光束中的一个脉冲激光束，对所述多层材料的第一部分进行加工；

再利用所述第一脉冲激光束和所述第二脉冲激光束中的另一个脉冲激光束，对所述多层材料的第二部分进行加工。

8.如权利要求7所述的多光束加工方法，其特征在于，所述将所述第一脉冲激光束和所述第二脉冲激光束引导至多层材料的待加工位置，包括：

将所述第一脉冲激光束和所述第二脉冲激光束引导至激光加工部，由所述激光加工部将经过合束器的脉冲激光束引导至多层材料的待加工位置。

9.如权利要求8所述的多光束加工方法，其特征在于，第一脉冲激光束的波长与所述第二脉冲激光束的波长相同。

10.如权利要求9所述的多光束加工方法，其特征在于，所述第二脉冲激光光束的对焦高度与所述第一脉冲激光束的对焦高度不同。