[发明专利]一种体声波器件及其制作方法、滤波装置

权利要求书

1.一种体声波器件，其特征在于，包括：

由下至上依次叠加的衬底、下电极层、压电层、上电极层；

所述衬底具有预设形状的空腔，所述空腔的深度小于所述衬底的厚度，所述下电极层、所述压电层、所述上电极层具有多个贯通的横截面为沟槽状的第一释放孔，且所述第一释放孔对应所述预设形状的边缘。

2.如权利要求1所述的体声波器件，其特征在于，还包括：

贯通所述下电极层、所述压电层、所述上电极层的第二释放孔，所述第二释放孔对应所述预设形状的中心。

3.如权利要求1或2所述的体声波器件，其特征在于，所述预设形状为不规则多边形，且所述预设形状的任意两条边不平行、任意两个角的角度不相等。

4.如权利要求3所述的体声波器件，其特征在于，所述不规则多边形中任意相邻的两条边通过弧线相连。

5.如权利要求4所述的体声波器件，其特征在于，所述不规则多边形的边长为具有凸起的边长，所述第一释放孔对应所述凸起。

6.如权利要求5所述的体声波器件，其特征在于，所述预设形状的每一条所述边缘对应多个所述第一释放孔。

7.如权利要求2所述的体声波器件，其特征在于，所述第二释放孔的数量为多个。

8.一种滤波装置，其特征在于，所述滤波装置包括至少一个如权利要求1至7任一项所述的体声波器件。

9.一种体声波器件制作方法，其特征在于，包括：

获得一衬底；

对所述衬底进行进行图形化处理形成预设形状的凹槽，并在所述凹槽中沉积牺牲层；

对所述衬底的上表面进行CMP处理；

在所述衬底的上表面依次生长下电极层、压电层、上电极层，并在所述下电极层、所述压电层、所述上电极层中制作横截面为沟槽状的第一释放孔，且所述第一释放孔对应所述预设形状的边缘；

刻蚀所述牺牲层，得到体声波器件。

10.如权利要求9所述的体声波器件制作方法，其特征在于，在所述凹槽中沉积牺牲层之后，还包括：

在所述积牺牲层中与所述第一释放孔对应的区域形成释放通道。