[发明专利]UVW对位平台

说明书

本公开提供了一种UVW对位平台，包括用于放置工件的台板及驱动台板的三个驱动装置，三个驱动装置呈三角形排布且分别具有偏心输出端，台板的下方连接有相垂直的第一直线导轨和第二直线导轨，第一直线导轨分别通过第一滑块与其中两个偏心输出端连接，第二直线导轨通过第二滑块与另一个偏心输出端连接，第一滑块与偏心输出端圆周方向能够相对转动，第二滑块与偏心输出端圆周方向能够相对转动。本公开通过三个驱动装置的偏心转动实现了台板沿X方向的左右运动、沿Y方向的前后运动和沿XY平面的旋转运动，结构十分紧凑，对位精度非常高，响应速度非常快。

技术领域

本公开涉及对位装置，尤其涉及一种UVW对位平台。

背景技术

随着社会的不断进步和科技的快速发展，对许多产品的加工精度等要求也越来越高，因此对相应的加工设备的要求也越来越高。目前，在半导体、液晶显示器制造、高精密贴合或检测等设备中都需要用到对位装置，对位装置能够精确调整待加工产品的位置，对位装置的对准精度对于产品的加工质量具有直接的影响，比如UVW对位平台等，UVW对位平台通常通过对定位参照点的识别，采用亚像素级的图像对位算法计算出被测物体在XYθ方向的偏移量，并自动控制移动平台反向移动相应的移动量，纠正被测物体的位置，实现精确自动对准定位。现有的UVW对位平台通常采用两个直线滑台结构搭建的XY平台，再加一个旋转马达实现前后左右以及角度偏转，这种形式非常庞大与笨重，精度较低，而且每次通电工作，需要回零，响应速度较慢，从而影响UVW对位平台的应用和发展。

发明内容

本公开的目的是提出一种UVW对位平台，可以解决上述技术问题中的至少一个，本公开的技术方案如下：

UVW对位平台，包括用于放置工件的台板及驱动台板的三个驱动装置，三个驱动装置呈三角形排布且分别具有偏心输出端，台板的下方连接有相垂直的第一直线导轨和第二直线导轨，第一直线导轨分别通过第一滑块与其中两个偏心输出端连接，第二直线导轨通过第二滑块与另一个偏心输出端连接，第一滑块与偏心输出端圆周方向能够相对转动，第二滑块与偏心输出端圆周方向能够相对转动。

在一些实施方式中，三个驱动装置呈等边三角形排布。

在一些实施方式中，第一直线导轨与第二直线导轨呈T型排布。

在一些实施方式中，三个驱动装置安装在外壳内，台板位于外壳的上方，外壳的顶部设置有分别与三个偏心输出端相对应配合的第一通孔。

在一些实施方式中，外壳包括依次连接的上板、中间板和下板，上板、中间板及下板内形成安置三个驱动装置的区间，三个第一通孔设置在上板上。

在一些实施方式中，驱动装置包括相配合的第一定子和第一转子，偏心输出端偏心设置在第一转子上。

在一些实施方式中，偏心输出端包括与第一转子连接的法兰轴承，法兰轴承通过第一连接轴与第一滑块或第二滑块连接，法兰轴承与第一连接轴轴向固定且圆周方向能够相对转动。

在一些实施方式中，第一转子的顶部偏心设置有与法兰轴承相配合的第一槽体。

在一些实施方式中，驱动装置还包括与第一转子相配合的第一轴承和第一编码器。

在一些实施方式中，第一编码器位于第一转子的底部，第一转子的底部设置有与第一编码器相配合的第二槽体，第二槽体内设置有与第一编码器连接的连接柱。

本公开的有益效果是：

第一导轨与X方向平行、第二导轨与Y方向平行时，如果与第一导轨相配合的两个驱动装置不动，两个第一滑块的位置不变且第一导轨与X方向保持平行，当与第二导轨相配合的驱动装置通过偏心输出端驱动第二滑块偏心转动后，第二滑块与偏心输出端圆周方向相对转动以使第二导轨与Y方向保持平行，第二滑块通过第二导轨驱动台板运动以使第一导轨通过两个第一滑块沿X方向移动，从而使台板沿X方向左右运动。