[发明专利]分光器在审
申请号: | 202010418543.0 | 申请日: | 2016-08-04 |
公开(公告)号: | CN111537066A | 公开(公告)日: | 2020-08-14 |
发明(设计)人: | 能野隆文;柴山胜己;加藤胜彦 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01J3/18 | 分类号: | G01J3/18;G01J3/02;G01J3/36;G02B27/10 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 分光 | ||
分光器具备:支撑体,具有设置有包含凹曲面状的内面的凹部以及与凹部相邻接的周边部的底壁部、相对于底壁部被配置于凹部开口的一侧的侧壁部;光检测元件,以与凹部相对的状态被支撑于侧壁部;分光部,被配置于凹部的内面上。在从凹部和光检测元件互相相对的第1方向观察的情况下,构成分光部的多个光栅槽排列的第2方向上的凹部的长度大于垂直于第2方向的第3方向上的凹部的长度。在从第1方向观察的情况下,在第2方向上与凹部相邻接的周边部的面积大于在第3方向上与凹部相邻接的周边部的面积。
本申请是申请日为
技术领域
本发明涉及对光进行分光并进行检测的分光器。
背景技术
已知有具备凹部被设置于内侧的箱形的支撑体、被安装于支撑体的开口部的光检测元件、以覆盖支撑体的凹部的方式被配置的树脂层、被设置于树脂层的分光部的分光器(例如参照专利文献1)。
现有技术文献
专利文献1:日本特开2010-256670号公报
发明内容
发明所要解决的技术问题
对于如上述那样的分光器来说对应于用途的扩大而要求更加小型化、特别是薄型化。但是,分光器越是被薄型化则杂散光的影响相对越是变大,由此,分光器的检测精度降低的担忧增加。
因此,本发明的一个方式的目的在于,提供一种既能够抑制检测精度的降低又能够谋求薄型化的分光器。
解决问题的技术手段
本发明的一个方式所涉及的分光器具备:支撑体,具有设置有包含凹曲面状的内面的凹部以及与凹部相邻接的周边部的底壁部、相对于底壁部被配置于凹部进行开口的一侧的侧壁部;光检测元件,以与凹部相对的状态被支撑于侧壁部;分光部,被配置于凹部的内面上;在从凹部和光检测元件互相相对的第1方向观察的情况下,构成分光部的多个光栅槽排列的第2方向上的凹部的长度大于垂直于第2方向的第3方向上的凹部的长度,在从第1方向观察的情况下,在第2方向上与凹部相邻接的周边部的面积大于在第3方向上与凹部相邻接的周边部的面积。
在该分光器中,分光部被配置于在支撑体的底壁部设置的凹部的内面上,光检测元件以与凹部相对的状态被支撑于支撑体的侧壁部。由这样的结构,能够谋求分光器的小型化。特别是在从凹部和光检测元件互相相对的第1方向观察的情况下,因为构成分光部的多个光栅槽进行排列的第2方向上的凹部的长度大于垂直于第2方向的第3方向上的凹部的长度,并且在第2方向上与凹部相邻接的周边部的面积大于在第3方向上与凹部相邻接的周边部的面积,所以能够在第3方向上将分光器薄型化。另外,即使在分光部上被分光并且被反射的光在光检测元件上被反射,通过使该光入射到在第2方向上与凹部相邻接的周边部从而也能够抑制该光成为杂散光。因此,根据该分光器,能够既抑制检测精度的降低又谋求薄型化。
在本发明的一个方式所涉及的分光器中,侧壁部也可以在从第1方向观察的情况下具有包围凹部以及周边部的环状的形状。由此,能够更加可靠地抑制分光部的特性发生劣化。
在本发明的一个方式所涉及的分光器中,周边部也可以包含越是从凹部分开越是从光检测元件分开的倾斜面。由此,即使在分光部上被分光并且被反射的光在光检测元件上被反射,通过使该光入射到周边部的倾斜面从而也能够更加可靠地抑制该光成为杂散光。
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