[发明专利]多集成尖端扫描探针显微镜

权利要求书

1.一种使扫描探针适配器中的至少两个探针尖端对齐的方法，所述方法包括以下步骤：

提供包括至少两个探针尖端的探针头部；

用AC或DC信号使样本和所述至少两个探针尖端偏置；

将所述样本和所述至少两个探针尖端移动成邻近；

测量来自所述至少两个探针尖端中的每个的电流；

比较测得的电流以确定所述至少两个探针尖端中的哪个探针尖端，如果有的话，产生了更高的电流；以及

如果所述至少两个探针尖端中的一个产生了更高的电流，则将所述样本台架和所述探针头部对齐，或者如果从所述至少两个探针测量到相等电流，则确定所述至少两个探针尖端对齐。

2.根据权利要求1所述的方法，进一步包括重复所述方法、直到从所述至少两个探针尖端测量到相等电流为止的步骤。

3.一种操作扫描探针显微镜的方法，所述方法包括以下步骤：

提供具有至少一个尖端的探针，所述探针包括至少一个整体集成的致动器和传感器，其中所述整体集成的致动器被构造成致动探针尖端并且使探针尖端振荡；以及

使用整体集成的传感器来测量振荡的探针尖端的运动。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，所述至少一个整体集成的致动器和传感器是电容式的、压电式的、压阻式的、或电容式、压电式和压阻式的组合。

5.一种使用扫描探针适配器来表征样本的方法，所述方法包括以下步骤：

提供包括至少两个探针尖端的探针头部；

使所述至少两个探针尖端对齐；

用所述至少两个探针尖端中的至少一个扫描样本以获得第一测量；以及

执行以下操作的至少一个：存储获得的第一测量、发送获得的第一测量以及显示获得的第一测量。

6.根据权利要求5所述的方法，所述方法进一步包括以下步骤：

使所述样本与所述至少两个探针尖端中的至少一个接触以获得第二测量；

执行以下操作的至少一个：存储获得的第二测量、发送获得的第二测量以及显示获得的第二测量。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，所述第二测量是电测量、机械测量、光学测量或化学测量。

8.一种扫描探针适配器，包括：

探针头部，所述探针头部具有至少一个探针尖端；以及

光学显微镜，所述光学显微镜被构造成相对于样本查看所述探针头部。

9.根据权利要求8所述的扫描探针适配器，其中，所述探针头部安装在台架上，所述台架被构造成使所述至少一个探针尖端相对于样本对齐。

10.根据权利要求8所述的扫描探针适配器，其中，所述探针头部安装在压电样本台架上方，所述压电样本台架被构造成在至少两个轴上移动所述样本，并且被进一步构造成移动所述样本通过所述探针以用于扫描。

11.根据权利要求10所述的扫描探针适配器，其中，所述压电台架安装到旋转台架上，所述旋转台架被构造成将所述样本定向在特定方向上。

12.根据权利要求9所述的扫描探针适配器，其中，所述台架安装到以下各者上：(i)第一台架，所述第一台架被构造成沿着第一轴、X轴移动所述台架；(ii)第二台架，所述第二台架被构造成沿着第二轴、Y轴移动所述台架；以及(iii)第三台架，所述第三台架被构造成沿着第三轴、Z轴移动所述台架。

13.根据权利要求8所述的扫描探针适配器，其中，所述探针头部包括顶部组件和底部组件。

14.根据权利要求8所述的扫描探针适配器，其中，包括所述探针尖端的探针贴附到所述探针头部。