[发明专利]光刻设备及其光源位置监控方法

说明书

本发明实施例公开了一种光刻设备及其光源位置监控方法，该光刻设备包括：固定卡槽，用于安装固定所述光源；感应模块，用于感应所述光源与所述固定卡槽之间的距离信息；提示模块，用于根据所述距离信息，发出提示信息；判断模块，用于根据所述提示信息，判断所述光源的安装状态。本发明实施例提供的技术方案，可实时且较为准确地感知光源的状态，为光源安装、光源维护以及光源使用过程中的状态监控提供参考，从而有利于提高设备工程师的作业安全性和安装便捷性。

技术领域

本发明实施例涉及光刻装置技术领域，尤其涉及一种光刻设备及其光源位置监控方法。

背景技术

光刻是集成电路生产中的一个主要工艺，是将光罩上的图形转移到涂有光刻胶的基片上，通过一系列工序，将基片表面的薄膜的特定部分除去的一种图形转移技术。光刻通常可包括对半导体晶片(也可称为“基片”)表面的掩蔽物(也可称为“掩膜”)进行开孔，以便进行杂质的定域扩散的加工技术。一般的光刻工艺要经历基片表面清洗、烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准、曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序；其中，曝光工序需要应用曝光机(或称为“曝光系统”)。曝光机主要包括曝光光源、照明系统以及投影物镜，其中，照明系统和投影物镜依序对曝光光源出射的光线进行调制，以均匀照明掩模以及提高成像分辨率，确保较好的曝光效果。

目前，当曝光光源为汞灯时，其安装方式主要采用手动安装方式，安装位置是否到位一般由设备工程师根据经验和手感进行判断。但是，出于安全防护考虑，设备工程师通常穿戴防护服和防护手套，由此导致设备工程师对曝光光源的位置感知较差，较难以察觉曝光光源是否安装到位。基于此，若曝光光源未安装到位的状态下，设备工程师误判其安装到位，并在把其他相关设备安装好之后，进行最终检测时才发现曝光光源未安装到位，此时，需要将相关设备和曝光光源重新拆装，导致时间的浪费；另一方面，若曝光光源已经安装到位的状态下，设备工程师误判其未安装到位，继续向曝光光源施力，由于曝光光源可能包括对人体有害的气体，此时，可能引起曝光光源炸裂，导致安全事故。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供一种光刻设备及其光源位置监控方法，以实时且准确地感知光源的安装状态，提高设备工程师的作业安全性和安装便捷性。

第一方面，本发明实施例提供了一种光刻设备，包括：

固定卡槽，用于安装固定所述光源；

感应模块，用于感应所述光源与所述固定卡槽之间的距离信息；

提示模块，用于根据所述距离信息，发出提示信息；

判断模块，用于根据所述提示信息，判断所述光源的安装状态。

第二方面，本发明实施例还提供了一种光刻设备的光源监控方法，应用第一方面提供的任一种光刻设备执行，该光源位置监控方法：

感应模块感应所述光源与所述固定卡槽之间的距离信息；

提示模块根据所述距离信息，发出提示信息；

判断模块根据所述提示信息，判断所述光源的安装状态。

本发明实施例提供的光刻设备及其光源位置监控方法中，通过设置固定卡槽、感应模块、提示模块以及判断模块；其中，固定卡槽用于安装固定光源；感应模块用于感应光源与固定卡槽之间的距离信息；提示模块用于根据距离信息，发出提示信息；判断模块，用于根据提示信息，判断光源的安装状态。由此，可利用感应模块、提示模块以及判断模块协同作用，实现对光源和固定卡槽之间的距离信息的实时监控，并在此基础上实时提示并判断光源的状态，从而可辅助光源安装，实时且较为准确地监测光源的安装状态，可提高设备工程师的作业安全性，以及提高光源的安装便捷性。

附图说明