[发明专利]在线过程质谱仪及在线过程质谱仪自调节方法有效

专利信息
申请号: 202010420758.6 申请日: 2020-05-18
公开(公告)号: CN111595926B 公开(公告)日: 2022-09-27
发明(设计)人: 黄泽建;高佳奇;江游;方向;戴新华 申请(专利权)人: 中国计量科学研究院
主分类号: G01N27/62 分类号: G01N27/62;H01J49/26;H01J49/02
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 李文清
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 在线 过程 质谱仪 调节 方法
【权利要求书】:

1.一种在线过程质谱仪,其特征在于,所述在线过程质谱仪包括检测器、放大器和第一切换开关,所述检测器与所述第一切换开关连接,所述第一切换开关与所述放大器连接;

所述检测器包括法拉第检测器、电子倍增器,所述放大器包括对数放大器、线性放大器;

所述在线过程质谱仪,用于获取检测对象的当前浓度与浓度变化速度;根据所述当前浓度与所述浓度变化速度确定目标检测器与目标放大器;通过所述目标检测器与所述目标放大器构成的运行模式进行在线过程质谱仪的检测操作;

所述在线过程质谱仪,还用于若所述当前浓度处于第一浓度区间且所述浓度变化速度处于第一变化速度区间,则将所述电子倍增器的工作电压调节为地电平,将所述第一切换开关切换为与所述对数放大器连接,以通过所述法拉第检测器与所述对数放大器构成的运行模式进行在线过程质谱仪的检测操作;

所述在线过程质谱仪,还用于若所述当前浓度处于第二浓度区间且所述浓度变化速度处于第二变化速度区间,则将所述电子倍增器的工作电压调节为第二预设电平,将所述第一切换开关切换为与所述线性放大器连接,以通过所述电子倍增器与所述线性放大器构成的运行模式进行在线过程质谱仪的检测操作。

2.根据权利要求1所述的在线过程质谱仪,其特征在于,所述在线过程质谱仪还包括进样系统、离子源、质量分析器、采集系统及显示系统;

所述进样系统与所述离子源连接,所述离子源与所述质量分析器连接,所述质量分析器与所述检测器连接,所述放大器与所述采集系统连接,所述采集系统与所述显示系统连接。

3.根据权利要求1所述的在线过程质谱仪,其特征在于,所述在线过程质谱仪,还用于若所述当前浓度处于第二浓度区间且所述浓度变化速度处于第一变化速度区间,则将所述电子倍增器的工作电压调节为第一预设电平,将所述第一切换开关切换为与所述对数放大器连接,以通过所述电子倍增器与所述对数放大器构成的运行模式进行在线过程质谱仪的检测操作;

所述在线过程质谱仪,还用于若所述当前浓度处于第一浓度区间且所述浓度变化速度处于第二变化速度区间,则将所述电子倍增器的工作电压调节为地电平,将所述第一切换开关切换为与所述线性放大器连接,以通过所述法拉第检测器与所述线性放大器构成的运行模式进行在线过程质谱仪的检测操作。

4.一种在线过程质谱仪,其特征在于,所述在线过程质谱仪包括检测器、放大器和第一偏转电极,所述检测器与所述放大器连接;

所述检测器包括法拉第检测器、电子倍增器,所述放大器包括对数放大器、线性放大器,所述法拉第检测器包括第一法拉第检测器、第二法拉第检测器,所述电子倍增器包括第一电子倍增器、第二电子倍增器,所述第一法拉第检测器、所述第一电子倍增器分别与所述对数放大器连接,所述第二法拉第检测器、所述第二电子倍增器分别与所述线性放大器连接;

所述在线过程质谱仪,用于获取检测对象的当前浓度与浓度变化速度;根据所述当前浓度与所述浓度变化速度确定目标检测器与目标放大器;通过所述目标检测器与所述目标放大器构成的运行模式进行在线过程质谱仪的检测操作;

所述在线过程质谱仪,还用于若所述当前浓度处于第三浓度区间且所述浓度变化速度处于第三变化速度区间,则将所述第一电子倍增器、所述第二电子倍增器及所述第一偏转电极的工作电压均调节为地电平,以使离子进入所述第一法拉第检测器,电荷流入所述对数放大器。

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