[发明专利]一种应用于多脉冲激光共沉积的靶材

权利要求书

1.一种应用于多脉冲激光共沉积的靶材，包括可被独立拆装的圆形靶材模块（101）和环形靶材模块（102），其特征在于：所述圆形靶材模块（101）置于环形靶材模块（102）中间固定成圆形靶材，圆形靶材模块（101）和环形靶材模块（102）的侧壁设有贯通孔（103），贯通孔（103）内设有贯通柱（104），贯通柱（104）的两端露出设置，所述圆形靶材模块（101）设置为一个，环形靶材模块（102）设置为一个或多个。

2.根据权利要求1所述的应用于多脉冲激光共沉积的靶材，其特征在于：所述靶材与靶托配合设置，靶材置于靶托上设置的圆形凹槽内，贯通柱（104）的长度等于圆形凹槽的内直径。

3.根据权利要求1所述的应用于多脉冲激光共沉积的靶材，其特征在于：所述圆形靶材模块（101）和环形靶材模块（102）之间或两个环形靶材模块（102）之间设有环形隔离模块（105），环形隔离模块（105）的侧壁上设有贯通孔（103）。

4.根据权利要求1所述的应用于多脉冲激光共沉积的靶材，其特征在于：所述贯通孔（103）位于1/2靶材厚度以下的位置。

5.根据权利要求1所述的应用于多脉冲激光共沉积的靶材，其特征在于：所述贯通柱（104）两端部均记为零刻度线，中间为最大刻度线。

6.根据权利要求3所述的应用于多脉冲激光共沉积的靶材，其特征在于：所述环形隔离模块（105）的材质为不锈钢。

7.根据权利要求1-6任一项所述的应用于多脉冲激光共沉积的靶材，其特征在于：所述圆形靶材模块（101）和环形靶材模块（102）为两种或两种以上陶瓷材料制备。