[发明专利]一种陶瓷基板平整度检测仪

说明书

本发明公开了一种陶瓷基板平整度检测仪，包括自动供料机构、移栽机构、检测平台和距离传感器；移栽机构包括水平滑轨、滑块、空心升降轴、旋转接头、吸盘和压环；旋转接头包括从上至下同轴设置的上盖、轴承座和下盖；压环同轴套设在吸盘外周，压环的顶部通过伸缩杆安装在下盖底部，伸缩杆的高度能够升降；检测平台能够旋转，且顶面为水平的检测平面；距离传感器安装在检测平台的上方且邻近检测平台的边缘设置，距离传感器高度位置固定。本发明中，当检测平台带动陶瓷基板转动时，即可检测出是否符合要求的平行度。检测结构准确、可靠，省时省力，大大提高了检测效率。

技术领域

本发明涉及陶瓷基板检测技术领域，特别是一种陶瓷基板平整度检测仪。

背景技术

陶瓷基板是指铜箔在高温下直接键合到氧化铝或氮化铝陶瓷基板表面(单面或双面)上的特殊工艺板。陶瓷基板已成为了大功率电力电子电路结构技术和互连技术的基础材料。陶瓷基板在使用时需要保证其平整度，现有的人工检测很难准确的进行测定。

CN201120409907.5的中国实用新型专利申请，其发明名称为“陶瓷基板用曲翘度检测仪”，其包括一底座，所述底座上与其垂直固定有两块支架，所述支架上固定有相互平行设置的上、下行平板，所述上行平板设置在下行平板的上方，所述上、下行平板上分别设置有上、下陶瓷板，所述上、下行平板间固定有锁紧螺母，所述上、下行平板之间设置有间隙，所述间隙的宽度与所述陶瓷基板的厚度相等，所述上、下行平板与底座形成夹角。当陶瓷基板经过平行的上下陶瓷板板即可检测出是否符合所需平行度。

上述专利申请，能对陶瓷基板的最大翘曲进行检测，然而，在使用时，还存在着如下不足，有待进行改进：

1、使用时，需要人工将陶瓷基片，塞入上、下行平板之间的间隙内，自动化程度低，检测效率低下。

2、在上、下行平板的内壁面分别设置陶瓷板，作为检测基板；在使用一段时间后，陶瓷板容易磨损，从而使得上、下行平板之间的间隙大小不等，也即检测基准发生变化，从而使得检测结果不可靠。

3、检测时，当陶瓷基板变形严重，也即翘曲度或平整度超标时，在将其陶瓷基板塞入上、下行平板之间的间隙内后，很容易造成卡塞；此时，一方面会加大上下平板内壁面上陶瓷板的磨损；另一方面，需要将上下行平板进行拆卸，将卡塞的陶瓷基板取出，然后重新对上下平板进行校准，从而费时费力。

发明内容

本发明要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，而提供一种陶瓷基板平整度检测仪，该陶瓷基板平整度检测仪采用非接触式检测，不会出现卡塞或磨损，测试结果准确、可靠，且自动化程度高。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：

一种陶瓷基板平整度检测仪，包括自动供料机构、移栽机构、检测平台和距离传感器。

自动供料机构用于陶瓷基板的自动供料。

移栽机构包括水平滑轨、滑块、空心升降轴、旋转接头、吸盘和压环。

水平滑轨平行设置在自动供料机构和检测平台两者水平连接线的上方。滑块沿水平滑轨滑移。

空心升降轴具有中空腔，空心升降轴的顶端安装在滑块底部，空心升降轴底端与吸盘固定连接，吸盘的吸气腔与空心转轴的中空腔相连通，形成真空充放气通道。

旋转接头同轴套装在位于滑块和吸盘之间的空心转轴上。旋转接头包括从上至下同轴设置的上盖、轴承座和下盖。上盖与轴承座之间通过平面轴承相连接，轴承座内安装滚轴轴承，滚轴轴承的内圈与空心升降轴紧配合。下盖固定在轴承座底部，且随滚轴轴承的外圈旋转。

压环同轴套设在吸盘外周，压环的顶部通过伸缩杆安装在下盖底部，伸缩杆的高度能够升降。

检测平台能够旋转，且顶面为水平的检测平面。