[发明专利]许可证认证装置和许可证认证方法

说明书

本发明提供许可证认证装置和许可证认证方法。本发明的一方式的许可证认证装置进行应用程序的许可证期限的认证，其中，上述应用程序是用于调整半导体工厂内的半导体制造装置的参数的应用程序，上述许可证认证装置包括：许可证信息保存部，其保存包含上述许可证期限的许可证文件；日志数据获取部，其获取上述半导体制造装置执行了处理时的日志数据；和许可证期限判断部，其判断上述日志数据获取部所获取的上述日志数据中包含的时刻是否超过了保存于上述许可证信息保存部中的上述许可证期限。本发明能够更稳固地进行使用期限的认证。

技术领域

本发明涉及许可证认证装置和许可证认证方法。

背景技术

已知有能够适当地防止在基片处理装置中运行的软件的不正当使用的基片处理装置(例如，参照专利文献1、2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-193579号公报。

专利文献2：日本特开2003-076435号公报。

发明内容

本发明提供能够更稳固地进行使用期限的认证的技术。

本发明的一方式的许可证认证装置进行应用程序的许可证期限的认证，其中，上述应用程序是用于调整半导体工厂内的半导体制造装置的参数的应用程序，上述许可证认证装置包括：许可证信息保存部，其保存包含上述许可证期限的许可证文件；日志数据获取部，其获取上述半导体制造装置执行了处理时的日志数据；和许可证期限判断部，其判断上述日志数据获取部所获取的上述日志数据中包含的时刻是否超过了保存于上述许可证信息保存部中的上述许可证期限。本发明能够更稳固地进行使用期限的认证。

依照本发明，能够更稳固地进行使用期限的认证。

附图说明

图1是表示包含半导体制造装置的系统的整体结构的一例的图。

图2是表示群管理控制器的硬件结构的一例的图。

图3是表示数据处理装置的硬件结构的一例的图。

图4是表示数据处理装置的动作的一例的步骤顺序图。

附图标记说明

1 系统

10、20、30 半导体制造装置

40 群管理控制器

50 数据处理装置

51 日志数据获取部

52 时刻获取部

53 最优化处理部

54 许可证期限判断部

55 允许启动部

56 许可证信息保存部

60 终端

具体实施方式

以下，参照所附的附图，对本发明的非限定性的例示的实施方式进行说明。在所附的所有附图中，对相同或者相应的部件或零件标注相同或相应的附图标记，并省略重复的说明。

[包含半导体制造装置的系统的整体结构]

参照图1，对包含半导体制造装置的系统的整体结构进行说明。图1是表示包含半导体制造装置的系统的整体结构的一例的图。