[发明专利]一种纳米羰基金属复合超滑含氢碳薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种纳米羰基金属复合超滑含氢碳薄膜的制备方法，包括以下步骤：

（1）金属基底的清洗：将金属基底依次用水基清洗液、碳氢清洗液进行超声清洗，去除油污、锈点和污染物后用氮气吹干；

（2）含氢碳薄膜的制备：将清洗吹干后的金属基底置入镀膜真空室，真空抽至1.0×10^-3 Pa及以下；先利用空心阴极离子源进行高强度的气体离子轰击清洗以进一步去除表面污染物；再采用磁控溅射技术沉积钛钨双金属结合层，然后阳极辅助空心阴极离子源沉积含氢碳薄膜，得含氢碳薄膜；

（3）将可溶于乙醇的羰基金属纳米粉末超声分散在乙醇溶液中，配置成质量浓度0.1~0.3%的羰基金属分散液，然后将含氢碳薄膜浸泡在羰基金属分散液中20~24小时，羰基金属将在含氢碳薄膜表面自组装形成羰基金属纳米薄膜，即得纳米羰基金属复合超滑含氢碳薄膜；

所述可溶于乙醇的羰基金属纳米粉末的制备，是直径5 nm以下的羰基纳米颗粒置于乙酰胺溶液中，在5个大气压和150℃下磁力搅拌保持2小时，获得可溶于乙醇的羰基纳米粉体；其中羰基金属为羰基镍粉、羰基钴粉、羰基钌粉中的任何一种。

2.如权利要求1所述一种纳米羰基金属复合的超滑含氢碳薄膜的制备方法，其特征在于：步骤（1）中，金属基底为404不锈钢、轴承钢。

3.如权利要求1所述一种纳米羰基金属复合超滑含氢碳薄膜的制备方法，其特征在于：步骤（2）中，空心阴极离子源进行高强度的气体离子轰击清洗：电流400A，气压2Pa，偏压700V。

4.如权利要求1所述一种纳米羰基金属复合的超滑含氢碳薄膜的制备方法，其特征在于：步骤（2）中，磁控溅射技术沉积钛钨结合层：钛钨复合靶中钛、钨的质量比为7:3，电流7A，偏压400 V，氩气1 Pa。

5.如权利要求1所述一种纳米羰基金属复合的超滑含氢碳薄膜的制备方法，其特征在于：步骤（2）中，阳极辅助空心阴极离子源沉积含氢碳薄膜的参数：空心阴极电流300A，阳极150V，偏压200V，气压2Pa，时间100分钟；气压由甲烷、氢气共同，且甲烷与氢气气压比为1:1~1:1.7。