[发明专利]电子束偏转扫描装置及应用方法

权利要求书

1.一种电子束偏转扫描装置，其特征在于，包括：

产生点状电子束的电子加速管；

对点状电子束进行扫描的一套二级电磁铁，其被配置为包括：相配合的磁极、磁轭和激磁线圈，以构成产生预定波形的偏转扫描磁场；

所述点状电子束经过二极磁铁时，被偏转扫描磁场偏转一个预定的角度，并以此预定角度为中心扫描展开形成带状电子束，通过引出窗进入大气中。

2.如权利要求1所述的电子束偏转扫描装置，其特征在于，所述磁轭上套有一组第一激磁线圈，以同时产生偏转及扫描磁场。

3.如权利要求1所述的电子束偏转扫描装置，其特征在于，所述磁轭上被配置为套有两组第二激磁线圈；

其中，一组第二激磁线圈被用于独立产生直流偏转磁场，另一组第二激磁线圈被用于独立产生扫描磁场，通过两个磁场的叠加合成形成相应的偏转及扫描磁场。

4.如权利要求1所述的电子束偏转扫描装置，其特征在于，所述二极磁铁产生的偏转扫描磁场，使电子束偏转一个预定的角度；

其中，所述预定角度的范围控制在0～145度。

5.如权利要求1所述的电子束偏转扫描装置，其特征在于，所述二极磁铁产生的扫描磁场，能使电子束以预定偏转角度为中心，左右扫描展开另一预定角度，且其角度范围控制在±15～25度的范围内。

6.如权利要求1所述的电子束偏转扫描装置，其特征在于，在所述二极磁铁之前，设置一个对点状电子束进行短方向展宽的横向展开磁铁，以对电子束在引出窗的短方向上进行小角度展宽，且其展开角度被配置在±1～5度的范围内。

7.一种应用如权利要求1-6任一项所述电子束偏转扫描装置的方法，其特征在于，包括：

通过二极磁铁将入射的点状电子束整体偏转预定角度，同时围绕其偏转方向，在另一预定的正负夹角范围内扫描散开成带状电子束。

8.如权利要求7所述的电子束偏转扫描装置应用方法，其特征在于，所述二极磁铁上磁轭在只配置一组第一激磁线圈时，偏转磁场和扫描磁场都由第一激磁线圈产生，其中的激磁电流被配置为在一个偏转用直流波形的基础上，叠加一个扫描展开用的锯齿波形；

其中，所述直流波形的幅值与电子束的偏转角度呈正比，所述锯齿波形幅值与电子束扫描展开的幅度呈正比。

9.如权利要求7所述的电子束偏转扫描装置，其特征在于，所述二极磁铁上磁轭被配置为具有两组第二激磁线圈时，包括：

一组第二激磁线圈用以独立产生直流偏转磁场，激磁电流被配置为直流波形，所述直流波形的幅值与电子束的偏转角度呈正比；

另一组第二激磁线圈用以独立产生扫描磁场，激磁电流被配置为锯齿波形，所述锯齿波形幅值与电子束扫描展开的幅度呈正比；

所述偏转扫描磁场由两个磁场叠加合成以得到。