[发明专利]一种用于气相法高温掺杂制棒的注入管装置及设备

权利要求书

1.一种用于气相法高温掺杂制棒的注入管装置，其特征在于：包括内置于保温隔热套管内的气体输送管及加热测温棒，所述保温隔热套管设置于高纯石英套管内，所述气体输送管为耐腐蚀不锈钢材质。

2.根据权利要求1所述的用于气相法高温掺杂制棒的注入管装置，其特征在于：所述加热测温棒设于保温隔热套管的中间位置，所述气体输送管至少为两个，布置在加热测温棒的外周。

3.根据权利要求1或2所述的用于气相法高温掺杂制棒的注入管装置，其特征在于：所述保温隔热套管包括金属套管和在金属套管外包覆的保温层。

4.根据权利要求3所述的用于气相法高温掺杂制棒的注入管装置，其特征在于：所述保温层的厚度为1～1.3mm。

5.根据权利要求3所述的用于气相法高温掺杂制棒的注入管装置，其特征在于：所述保温层为耐高温胶带。

6.根据权利要求1或2所述的用于气相法高温掺杂制棒的注入管装置，其特征在于：所述原料输送管的输出端穿过密封元件通入反应管中，所述密封元件的外周与高纯石英套管内壁密封配置。

7.根据权利要求6所述的用于气相法高温掺杂制棒的注入管装置，其特征在于：所述密封元件为全氟橡胶密封块。

8.一种用于气相法高温掺杂棒设备，其特征在于：包括权利要求1至7中任一一项所述的注入管装置，所述注入管装置的输出端与反应管及车床制棒系统相配置，所述注入管装置的输入端与高温掺杂系统相配置。

9.根据权利要求9所述的用于气相法高温掺杂棒设备，其特征在于：注入管装置通过气端旋转密封装置支撑固定，所述反应管通过旋转密封装置与两端卡盘夹持旋转密封。